Ngừng việc sử dụng các thiết bị gia nhiệt thông thường: Cách tốt hơn để làm nóng các tấm wafer
Vấn đề trong quy trình xử lý chất bán dẫn là việc làm nóng các tấm wafer mà không làm hỏng bộ phận bên trong máy. Hầu hết các thiết bị gia nhiệt thông thường chỉ tạo ra nhiệt ở khắp mọi nơi. Điều này gây ra nhiều vấn đề: nhiệt lượng dư thừa tích tụ trên thân máy, khiến người vận hành có nguy cơ bị bỏng; đồng thời, thân máy cũng bị biến dạng do nhiệt độ cao. Đây không phải là cách tốt để vận hành máy móc trong phòng thí nghiệm.
Tập trung nhiệt lượng vào vị trí cần thiết
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng các bóng đèn hồng ngoại sóng ngắn. Thay vì dùng không khí để truyền nhiệt, các bóng đèn hồng ngoại sử dụng bức xạ để truyền nhiệt. Bí quyết nằm ở việc sử dụng các tấm phản chiếu được phủ bằng vàng hoặc các thấu kính để hướng nhiệt lượng trực tiếp vào bề mặt tấm wafer. Điều này giúp tránh việc nhiệt lượng lan tỏa khắp nơi. Hầu hết năng lượng sẽ được tập trung vào vị trí cần thiết, giúp các bộ phận bên trong máy giữ được nhiệt độ ổn định.
Xác định khoảng cách phù hợp
Khoảng cách giữa bóng đèn và tấm wafer rất quan trọng. Nếu đặt bóng đèn quá gần, nhiệt độ sẽ quá cao, dẫn đến tình trạng “điểm nóng”. Ngược lại, nếu đặt bóng đèn quá xa, hiệu suất gia nhiệt sẽ giảm sút. Năng lượng sẽ lan tỏa khắp nơi, thay vì chỉ tập trung vào tấm wafer. Bạn cần xác định đúng khoảng cách dựa trên kích thước của tấm wafer. Đó là yếu tố then chốt để đạt được hiệu suất tối ưu.
Đảm bảo an toàn
Mục tiêu là tạo ra một máy móc mà bề mặt bên ngoài vẫn giữ được nhiệt độ ổn định. Bằng cách cách ly nguồn nhiệt và sử dụng các thiết bị hướng nhiệt, chúng ta có thể giữ cho các bộ phận bên trong máy ở mức nhiệt độ an toàn. Tuy nhiên, cần lưu ý rằng các bóng đèn công suất cao sẽ tạo ra nhiệt độ cực cao tại nguồn phát nhiệt. Các quạt làm mát hoặc hệ thống làm mát bằng nước cần phải đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt đó. Nếu hệ thống làm mát không đủ mạnh, nhiệt độ cao sẽ vẫn lan tỏa khắp nơi, bất chấp việc bạn đã cố gắng hướng nhiệt lượng đúng vị trí.
Một mẹo nhỏ: Hãy sử dụng cáp điện có khả năng chịu nhiệt cao. Không ai muốn phải đối mặt với tình trạng lớp cách điện bị tan chảy gần các chỗ cắm bóng đèn cả.