Нагрівач для сушіння пластин після процедури CMP
На виробничому полі, пластинка після процедури CMP, яка виходить з розчину, все ще містить мікрокраплі на своїх поверхнях. Це означає, що для...
Рівномірне нагрівання для пластини діаметром 300 мм в інфрачервоному діапазоні
На лінії обробки пластин діаметром 300 мм можна відчути проблеми, коли процес висушування починає відхилятися від заданих параметрів. Ширина ліній на...