Чому ми відмовилися від використання озону у наших інфрачервоних лампах для затвердіння матеріалів
У заводах з виробництва напівпровідників „чистота“ – це не просто ціль, а щось набагато важливіше. Якщо залишиться навіть незначна кількість хімічних залишків, це стане проблемою. Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоних ламп без озону.
Більшість традиційних систем короткохвильового інфрачервоного випромінювання випускають озон як побічний продукт. Це не дуже добре. Виключивши озон, ми не лише відповідаємо стандартам „зеленої“ технології, але й захищаємо обладнання.
Наука заради зрозумілості
Стандартні інфрачервоні лампи випромінюють світло в діапазоні від 185 до 254 нм. Це світло впливає на кисень у повітрі, розділяючи його на окремі частинки, що призводить до утворення озону.
У чистій кімнаті озон є справжнім кошмаром – він руйнує делікатні металеві елементи та органічні полімери. Щоб запобігти цьому, ми використовуємо спеціальні покриття та добавки в кварцових трубках. Вони діють як фільтри, блокуючи випромінювання у вакуумному ультрафіолетовому діапазоні.
Ви все одно отримуєте потрібну інтенсивність тепла, але без будь-яких корозійних газів.
Не потрібно нагрівати повітря
Уявіть собі величезну конвекційну піч – ви витрачаєте багато грошей та електроенергії лише для нагріву повітря. Це марнування ресурсів.
Інфрачервоні лампи працюють інакше – вони діють безпосередньо на матеріал, який потрібно обробити. Це швидше та ефективніше. Оскільки ми не витрачаємо енергію на нагрівання всієї кімнати, споживання енергії на один чіп значно зменшується. Ви нагріваєте сам матеріал, а не всю атмосферу навколо.
Чесна правда про заміну
Я не скажу, що це щось чудодійне. Є кілька речей, які потрібно врахувати. Оскільки ми фільтруємо певні довжини хвиль, щоб усунути озон, спектральний розподіл світла змінюється. Не можна просто перемкнути вимикач та все буде гаразд. Ймовірно, доведеться налаштувати швидкість конвеєра чи висоту лампи, щоб процес затвердіння відбувався саме так, як потрібно.
А якщо ви використовуєте високошвидкісні лінії? Переконайтеся, що ваші контролери PID налаштовані на час реакції цих фільтрованих ламп.
Добра новина полягає у тому, що ці лампи можна використовувати як заміну для існуючих. Ви можете зберегти свою поточну конфігурацію, але нарешті можете не хвилюватися про забруднення.