Припиніть марнувати тепло у вашій вакуумній камері
Ось як виглядає реальність роботи в вакуумі: процес конвекції припиняється. Залишається лише випромінювання. Якщо не бути обережним, більша частина дорогоцінної енергії просто зникає в стінах камери. Під час обробки пластин кожен марновитий ват – це своєрідний дефект конструкції.
Саме тому ми використовуємо відбивачі, покриті золотом. Це може здатися складним, але насправді все досить просто. Ми хочемо, щоб інфрачервона енергія потрапляла на пластину, а не всмоктувалась в сталь.
Чому саме золото?
Більшість людей починають з полірованого алюмінію чи нержавіючої сталі. Для нас вони виглядають блискучими, але в інфрачервоному спектрі вони діють як губки – вони поглинають занадто багато енергії.
Ми замінюємо їх на шар золота високої чистоти. Золото чудово відбиває інфрачервоні хвилі назад туди, де вони повинні бути. Це дозволяє прискорити процес нагрівання та зменшити тепловтрати.
Як зробити так, щоб кожен ват був корисним
Підтримання стабільної температури на пластині розміром 300 мм є складним завданням. Це справжній баланс.
Якщо зменшити втрати через випромінювання за допомогою золота, можна значно зменшити потужність ламп. Температура поверхні залишається такою ж, але потужність зменшується. Ваші джерела живлення будуть вдячні вам за це.
Але є один недолік…
Цей рівень ефективності має свої нюанси. Ці системи активно концентрують тепло. Якщо положення лампи зміститься на кілька міліметрів, можуть виникнути значні теплові різниці. Не можна економити на контролерах PID чи термопарах – вони повинні працювати достатньо швидко, щоб контролювати ситуацію. Також необхідно ретельно перевірити систему охолодження. Якщо вона не розрахована на обробку тепла, яке відбивається від поверхні пластини, це може призвести до пошкодження елементів системи.
Ми розробляємо ці пристрої так, щоб вони легко вписувалися у ваші існуючі вакуумні системи. Мета полягає у тому, щоб тепло потрапляло саме туди, де йому потрібно – на саму пластину. Без втрат. Без перегріву непотрібних елементів. Лише чисте та ефективне тепло.