Neden IR kurutma işlemlerimizde ozon kullanmayı bıraktık?
Yarı iletken üretim tesislerinde “temizlik” sadece bir hedef değil, her şeydir. Eğer küçük bir kimyasal kalıntı bile kalsaydı, bu büyük bir sorun olurdu. Bu yüzden ozonsuz infraruj (IR) lambalarına geçtik.
Geleneksel kısa dalga boylu IR sistemleri, yan ürün olarak ozon üretir. Bu hiç de iyi değil. Bunu ortadan kaldırarak sadece endüstri standartlarına uygun hareket etmiş olmuyoruz; aynı zamanda donanımımızı da korumuş oluyoruz.
Arka plandaki bilim…
Standart IR lambaları genellikle 185nm ile 254nm arasındaki dalga boylarında radyasyon yayınlar. Bu enerji, havadaki oksijenle reaksiyona girerek ozon oluşturur.
Temiz odalarda ozon tam anlamıyla bir felakettir. Ozon, hassas metal izlerini yok eder ve organik polimerleri bozar. Bunun önüne geçmek için kuvars tüplerde özel kaplamalar ve katkı maddeleri kullanılır. Bunlar bir filtre gibi çalışarak VUV ışınlarını engeller.
Böylece ihtiyacınız olan yoğun ısı elde edilir, ancak herhangi bir aşındırıcı gaz oluşmaz.
Havayı ısıtmayı bırakın…
Devasa bir konveksiyon fırını düşünün. Sadece havayı ısıtmak için çok fazla para ve elektrik harcanıyor. Bu oldukça israfçıdır.
IR lambaları ise farklıdır. Doğrudan malzemeye ısı verirler. Bu sayede daha hızlı ve verimli bir şekilde işlem yapılır. Tüm odayı ısıtmak yerine sadece malzemeyi ısıttığımız için, her bir wafer için gereken enerji miktarı önemli ölçüde azalır. Yani atmosferi değil, sadece malzemeyi ısıtıyorsunuz.
Bu değişiklikle ilgili gerçekler…
Bunun sihirli bir çözüm olduğunu söylemeyeceğim. Dikkat etmeniz gereken birkaç nokta var. Ozonu ortadan kaldırmak için belirli dalga boylarını filtrelediğimiz için spektral dağılımda bir değişiklik olur. Sadece bir düğmeye basarak işlemi tamamlayamazsınız. Kurutma sürecini istenen seviyeye getirmek için taşıyıcı hızını veya lambanın yüksekliğini ayarlamanız gerekebilir.
Eğer yüksek hızlı bir üretim hattı kullanıyorsanız, PID kontrol cihazlarınızın bu filtrelenmiş lambaların özel tepki sürelerine göre ayarlanmış olduğundan emin olun.
İyi haber şu ki, bunları mevcut sistemlerin yerine kullanabilirsiniz. Mevcut düzeninizi ve alanınızı koruyabilirsiniz, ancak artık kirlilik konusunda endişelenmenize gerek yok.