Vakum odanızda enerji israfını durdurun
Vakum ortamında çalışmanın gerçekliği şudur: Konveksiyon etkisi ortadan kalkar. Geriye yalnızca radyasyon kalır ve dikkat etmezseniz, pahalı enerjinizin çoğu odanın duvarlarına zarar verir. Waferleri işlerken her israf edilen watt, aslında bir tasarım hatasıdır.
İşte bu yüzden altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Kulağa karmaşık geliyor gibi görünse de aslında oldukça basit. İnfrakızıl enerjinin waferlere ulaşmasını istiyoruz; çelik yüzeylere geçmesini değil.
Neden altın?
Çoğu kişi parlak alüminyum veya paslanmaz çelik kullanır. Bize göre bunlar parlak görünür, ancak infrakızıl spektrumunda adeta sünger gibidirler ve çok fazla enerji emerler. Biz bunların yerine yüksek saflıklı altın tabakaları kullanıyoruz. Altın, infrakızıl dalgalarını tekrar doğru yere yönlendirmede mükemmeldir. Böylece ısı daha hızlı ilerler. Sonuç olarak, ısınma süreniz kısalır ve termal yük de düşük kalır.
Her wattın değerini kullanmak
300 mm’lik bir wafer üzerinde sabit bir sıcaklık korumak zordur. Bu, bir denge meselesidir. Altın sayesinde bu radyatif kayıpları azaltarak lambaların gücünü düşürebilirsiniz. Aynı yüzey sıcaklığı elde edilirken enerji yoğunluğu daha düşük olur. Güç kaynaklarınız da bu sayede rahatlar.
Ancak bir dezavantaj var…
Bu tür verimliliklerin bir bedeli vardır. Bu sistemler ısıyı yoğun bir şekilde yoğunlaştırır. Eğer lambanın konumu birkaç milimetre bile yanlışsa, ciddi termal gradyanlar oluşur. PID kontrol cihazlarına veya termokupllara özen göstermelisiniz; bunların yeterince hızlı olması gerekir. Ayrıca soğutma sisteminizi de kontrol edin. Eğer kenarlardaki ısıyı idare edebilecek kapasitede değilse, contalarınız zarar görebilir.
Biz bu sistemleri mevcut vakum hatlarına kolayca entegre edebilecek şekilde tasarlıyoruz. Amacımız ısıyı tam da gerektiği yere, yani substratın üzerine iletmektir. Hiçbir israf olmaz. Yanlış parçalar aşırı ısınmaz. Sadece temiz ve verimli bir ısı aktarımı sağlanır.