На линиях обработки пластин размером 300 мм можно заметить проблемы, когда профиль нагрева начинает отклоняться от заданных параметров. Ширина линий становится нестабильной, а после процесса обработки появляется избыточный осадок. Когда горячая зона не справляется с заданными параметрами нагрева, это приводит к потерям в качестве фотополимера, что в свою очередь влияет на конечный результат обработки. Мы разработали инфракрасную систему, которая предотвращает такие проблемы ещё до того, как они возникают.
Что имеет значение с технической точки зрения
Массив инфракрасных излучателей с короткими волнами настроен так, чтобы обеспечить равномерность температуры на всей поверхности пластины — в пределах ±0,1°C в процессе мягкого и жесткого нагрева, а также в процессе высыхания. Быстрая реакция системы на изменения температуры позволяет избежать задержек, благодаря чему температура соответствует заданным параметрам без перепадов. Горячая зона соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; при работе в постоянном режиме она не выделяет никаких частиц. Это обеспечивает непрерывную работу системы 24/7 без простоев, а также стабильность параметров качества продукции.
Почему это важно в литографии
В процессе литографии мягкий нагрев служит для удаления растворителей и контроля напряжений в пленке; жесткий нагрев фиксирует изображение, делая фотополимер готовым к процессу эчинга или имплантации. Благодаря равномерному нагреву свойства пленки остаются стабильными на всей поверхности пластины. Это позволяет избежать необходимости переработки продукции, улучшает точность параметров и сокращает количество бракованных изделий.
Также снижается потребление энергии. Система нагревает только нужную область, что позволяет контролировать температуру и снижать расходы на электроэнергию.
Практические аспекты
Горячая зона имеет компактные размеры, поэтому её можно интегрировать в модуль для нанесения пленки или процесса нагрева. Размеры зоны, необходимой для обработки пластины, минимальны, а распределение потока воздуха должно соответствовать уже существующей системе вентиляции.
Настройка системы занимает немного времени: достаточно настроить мощность ламп, коэффициент излучения и параметры PID. После этого профиль нагрева остается стабильным. Однако, если меняется состав фотополимера или толщина пленки, необходимо повторная настройка для поддержания той же степени однородности и эффективности нагрева.