Waarom we geen ozon meer gebruiken in onze IR-ontvettingsapparaten
In semiconductiefabrieken is ‘zuiverheid’ niet alleen een doel – het is zelfs essentieel. Als er ook maar een klein beetje chemisch residu achterblijft, heb je problemen. Daarom zijn we overgestapt op IR-lampen zonder ozon.
De meeste traditionele korte-golflengte IR-systemen produceren per ongeluk ozon als bijproduct. Dat is niet goed. Door dit te voorkomen, voldoen we niet alleen aan de industriestandards voor ‘groene’ technologieën, maar beschermen we ook de apparatuur zelf.
De wetenschap achter het proces
Standaard IR-lampen stralen straling uit in het bereik van 185 nm tot 254 nm. Deze energie raakt het zuurstofmoleculen in de lucht en splitst ze op, waardoor ozon wordt gevormd.
In een schone omgeving is ozon een echte ramp: het tast delicate metalen onderdelen aan en vernietigt organische polymeren. Om dit te voorkomen, gebruiken we speciale coatings en additieven in de kwartsbuizen. Hierdoor wordt het VUV-spectrum geblokkeerd.
Je krijgt nog steeds genoeg hitte, maar geen corrosieve gassen meer.
Stoppen met het verwarmen van de lucht
Stel je eens voor dat je een enorme convectiekookoven hebt. Je moet veel geld en elektriciteit besteden om alleen maar de lucht in de oven op te warmen. Dat is zinloos.
IR-lampen werken anders. Ze raken het materiaal rechtstreeks aan. Het is sneller en efficiënter. Omdat we geen energie meer verspillen aan het opwarmen van de hele ruimte, neemt de energieverbruik per chip aanzienlijk af. Je verwarmt dus alleen het materiaal, niet de lucht.
De eerlijke waarheid over deze overstap
Het is geen magische oplossing. Er zijn een paar dingen die je in gedachten moet houden. Omdat we bepaalde golflengten filteren om ozon te voorkomen, verandert de spectrale verdeling iets. Je kunt niet zomaar een schakelaar omzetten en klaar zijn. Het kan nodig zijn om de snelheid van de transportband of de hoogte van de lamp aan te passen, zodat het ontvettingsproces optimaal verloopt.
En als je een hoge snelheid hebt? Zorg ervoor dat je PID-regelaars zijn afgesteld op de specifieke responstijd van deze gefilterde lampen.
Het goede nieuws is dat deze lampen als vervanging kunnen dienen voor de oude lampen. Je kunt je huidige configuratie behouden, maar je hoeft je geen zorgen meer te maken over contaminatie.