Mantenere una sala pulita di classe 100 effettivamente pulita
Quando si gestisce una sala pulita di classe 100, il riscaldamento rappresenta davvero un problema. Non si tratta soltanto della temperatura: si tratta anche degli elementi invisibili presenti nell’ambiente.
Le lampade a infrarossi standard sono particolarmente problematiche in questo senso: emettono piccoli frammenti metallici dalle loro estremità. Se uno di questi frammenti finisce su una wafer o su uno strato ottico, si è sprecato molto denaro.
Per risolvere questo problema, abbiamo utilizzato tubi di quarzo ad alta purezza, abbinati a capsule ceramiche specializzate. Ecco come funziona esattamente.
Il vantaggio del quarzo ad alta purezza
Utilizziamo quarzo sintetico ad alta purezza, perché non subisce danni a temperature elevate. Se si utilizzasse vetro normale e si portasse la temperatura a 1000°C, il vetro si deformerebbe o inizierebbe a rilasciare composti organici volatili. Questo non è certo ideale per una sala pulita.
Questi elementi emettitori utilizzano uno spettro a onde corte concentrate. In altre parole, il calore viene diretto direttamente sul bersaglio, senza sprecare energia per riscaldare l’aria circostante. Così, la temperatura della stanza rimane esattamente dove vogliamo che sia.
Perché insistiamo sull’uso di capsule ceramiche
Le capsule terminali sono solitamente il punto in cui possono verificarsi dei problemi. Le capsule metalliche tendono ad ossidarsi e a staccarsi nel tempo.
Noi utilizziamo invece ceramiche di alta qualità. Ci assicuriamo che queste ceramiche si espandano e contraggano alla stessa velocità del quarzo, così da evitare che la sigillatura si rompa durante i cicli di riscaldamento/raffreddamento.
Inoltre, queste ceramiche non emettono gas né frammenti metallici. Si ottiene così una sigillatura ermetica, che mantiene i gas allogenati all’interno e impedisce che i materiali indesiderati entrino nella sala pulita.
Alcune cose da tenere presente
Si possono utilizzare questi elementi direttamente nei sistemi esistenti, come sostituti. Tuttavia, bisogna fare attenzione: il quarzo ad alta purezza è più fragile rispetto al vetro trattato che potreste essere abituati ad utilizzare.
Se i supporti di fissaggio sono troppo stretti, il tubo potrebbe rompersi durante l’espansione. È necessario lasciare un po’ di spazio ai tubi, anche solo di poco. Un piccolo margine di tolleranza fa tutta la differenza.
Inoltre, bisogna prestare attenzione all’alimentazione elettrica. Questi elementi operano ai limiti fisici per mantenere un livello di contaminazione nullo; quindi, un picco di tensione può distruggere i filamenti in pochi istanti. È importante regolare correttamente i controller PID per evitare che la temperatura superi i limiti consentiti.