Mengapa Kami Mengganti Penggunaan Ozon dalam Sistem Pemanasan Inframerah Kami
Di pabrik semikonduktor, “kebersihan” bukan sekadar tujuan—itu merupakan hal yang sangat penting. Jika ada sedikit saja sisa kimia yang tertinggal, itu akan menimbulkan masalah. Itulah mengapa kami beralih ke penggunaan lampu inframerah tanpa ozon.
Sebagian besar sistem inframerah konvensional secara tidak sengaja menghasilkan ozon sebagai produk sampingannya. Hal ini tentu tidak baik. Dengan menghilangkan ozon tersebut, kami tidak hanya memenuhi standar lingkungan yang berlaku, tetapi juga melindungi perangkat keras yang digunakan.
Ilmu Penyebabnya (Tanpa Penjelasan yang Rumit)
Lampu inframerah biasanya memancarkan radiasi dalam rentang 185nm hingga 254nm. Energi radiasi tersebut menyebabkan oksigen di udara terpecah, sehingga terbentuklah ozon.
Di ruang bersih, ozon merupakan musuh yang berbahaya. Ozon dapat merusak logam yang halus dan polimer organik. Untuk mencegah hal ini, kami menggunakan lapisan khusus dan zat tambahan pada tabung kwarsa. Lapisan-lapisan ini berfungsi sebagai filter yang mencegah masuknya sinar VUV.
Anda tetap mendapatkan suhu panas yang diperlukan, tetapi tanpa adanya gas korosif.
Berhenti Membuat Udara Panas
Bayangkanlah oven konveksi raksasa. Anda harus mengeluarkan banyak uang dan energi hanya untuk memanaskan udara di dalamnya. Itu sangat membuang-buang energi.
Lampu inframerah berbeda. Lampu ini langsung memanaskan permukaan benda yang diproses. Prosesnya lebih cepat, dan tidak membuang-buang energi. Karena kita tidak perlu memanaskan seluruh ruangan, maka konsumsi daya per wafer pun berkurang secara signifikan. Anda hanya perlu memanaskan benda tersebut, bukan udara di sekitarnya.
Kenyataan tentang Perubahan Ini
Saya tidak akan mengatakan bahwa ini merupakan solusi ajaib. Ada beberapa hal yang perlu Anda pertimbangkan. Karena kita perlu menyaring gelombang tertentu agar ozon tidak terbentuk, maka distribusi spektrum cahayanya akan berubah sedikit. Anda tidak bisa sekadar menghidupkan lampu tersebut begitu saja. Anda perlu menyesuaikan kecepatan konveyor atau ketinggian lampu agar proses pemanasan berjalan sesuai kebutuhan.
Jika Anda menggunakan sistem produksi dengan kecepatan tinggi, pastikan kontroler PID Anda telah disetel sesuai dengan waktu respons lampu yang sudah disaring tersebut.
Yang baiknya adalah, lampu-lampu ini dirancang untuk digantikan secara langsung. Anda dapat mempertahankan tata letak peralatan yang ada, tetapi Anda tidak perlu khawatir lagi soal kontaminasi.