Dalam proses litografi OLED, teknik ini tidak memberikan ruang untuk terjadinya perubahan suhu yang signifikan. Jika suhu berubah sebesar ±0,5°C saja, maka akan terjadi ketidakseragaman pada kualitas lapisan fotoresist, serta masalah dalam proses pengikisan lapisan tersebut. Diperlukan lampu pengering yang mampu menjaga suhu tetap konstan, bukan semacam lampu yang suhunya berubah-ubah seiring waktu.
Apa yang telah kami bangun, dan mengapa Kami menggunakan lampu pengering OLED yang bekerja dengan gelombang inframerah pendek (SWIR), yang ditempatkan di dalam selubung kuarsa. Hal ini memungkinkan transfer energi yang cepat dan langsung ke lapisan fotoresist, tanpa menyebabkan pemanasan berlebih pada substrat di bawahnya. Sistem pemanas ini dirancang sedemikian rupa sehingga suhu di area pemanasan tetap stabil dalam kisaran ±0,1°C, dan tingkat repetibilitasnya mencapai 0,05°C per siklus.
Sistem ini cocok digunakan di ruang kerja bersih kelas 1–100. Kami juga telah memastikan bahwa tidak ada partikel yang dihasilkan selama proses pemrosesan, melalui pemantauan secara real-time. Kontrol suhu dilakukan secara tertutup, menggunakan pirometer yang telah dikalibrasi, sehingga suhu yang diukur merupakan suhu permukaan lapisan fotoresist, bukan suhu badan lampu itu sendiri.
Mengapa sistem ini efektif di pabrik OLED Dalam proses pengeringan lapisan fotoresist pada OLED, pengendalian suhu sangat penting. Jika suhu terlalu rendah, pelarut-pelarut dalam lapisan fotoresist tidak akan hilang sepenuhnya. Sebaliknya, jika suhu terlalu tinggi, akan tercipta defek-defek yang dapat mempengaruhi kualitas hasil pemrosesan. Lampu ini mampu menjaga suhu yang tepat setiap siklusnya, sehingga kualitas lapisan fotoresist tetap stabil.
Proses pemanasan yang cepat mempersempit waktu yang dibutuhkan untuk proses pengeringan, sehingga meningkatkan efisiensi produksi tanpa perlu menaikkan suhu menjadi terlalu tinggi. Desainnya yang efisien membuat konversi energi listrik menjadi radiasi menjadi lebih baik, sehingga biaya operasional menjadi lebih rendah, dan panas berlebih yang dihasilkan juga berkurang. Keandalan sistem ini sangat tinggi, sehingga dapat digunakan 24/7, dengan catatan bahwa sistem ini sudah terbukti mampu beroperasi selama ribuan jam tanpa gangguan.
Apa yang perlu Anda persiapkan Lampu ini memiliki ukuran yang kompak, tetapi membutuhkan saluran ventilasi khusus serta pasokan listrik yang stabil agar kinerjanya tetap optimal. Jika Anda ingin mengintegrasikannya ke sistem yang sudah ada, Anda perlu mempersiapkan adaptor antarmuka mekanis dan kontrol yang sesuai. Pastikan konektor, selubung penyangga, dan sistem interlock PLC sudah siap sebelum proses integrasi dimulai.
Lakukan proses pengujian singkat untuk menyesuaikan profil pemanasan sesuai dengan spesifikasi lapisan fotoresist yang digunakan, lalu pastikan profil tersebut tetap stabil.