למה ויתרנו על שימוש באוזון בתהליך היציקה באמצעות קרינת אינפרא-אדום
במפעלי השבבים, “ניקיון” אינו רק מטרה – זו הדרישה הבסיסית. אם נשארת אפילו כמות קטנה של שאריות כימיות, נוצרת בעיה. לכן עברנו לשימוש במנורות אינפרא-אדום ללא אוזון.
רוב מערכות האינפרא-אדום המסורתיות יוצרות באופן לא רצוני אוזון כתוצר לוואי. זה לא טוב. על ידי הסרת אוזון מהתהליך, אנו לא רק עומדים בתקנים הסביבתיים, אלא גם מגנים על הציוד.
המדע מאחורי התהליך (בלי הפרטים המיותרים)
מנורות אינפרא-אדום רגילות פולטות קרינה בטווח של 185 ננומטר עד 254 ננומטר. אנרגיה זו פוגעת בחמצן שבאוויר וגורמת לפיצולו, מה שיוצר אוזון.
בחדרים נקיים, אוזון הוא בעיה חמורה – הוא פוגע בחוטי המתכת העדינים ומקלקל פולימרים אורגניים. כדי למנוע זאת, אנו משתמשים בציפויים ייעודיים בצינורות הקוורץ. ציפויים אלו פועלים כמסננים, ומונעים את הקרינה בטווח ה-VUV.
עדיין מתקבלת רמת חום גבוהה, אך אין יותר גזים מקורזים.
הפסקת חימום האוויר
חשבו על תנור אידוי ענקי – אתם משקיעים הרבה כסף וחשמל רק כדי לחמם אוויר. זה בזבוז.
מנורות אינפרא-אדום שונות – הן פוגעות ישירות בחומר שעליו הן פועלות. זה מהיר יותר ויעיל יותר. מכיוון שאנו לא מבזבזים אנרגיה על חימום כל החדר, צריכת החשמל לכל שבב יורדת באופן משמעותי. אתם מחממים רק את החומר, ולא את האוויר סביבו.
האמת על המעבר לשימוש במנורות אינפרא-אדום
אני לא אטען שזו פתרון קסם. יש כמה דברים שצריך לקחת בחשבון.
מכיוון שאנו מסננים את הגלים הספציפיים שיוצרים אוזון, התפלגות הגלים משתנה מעט. אי אפשר פשוט להחליף את המנורות – ייתכן שתצטרכו לשנות את מהירות ההעברה של השבבים או את גובה המנורות, כדי שהתהליך יתנהל כראוי.
ואם אתם משתמשים במערכות במהירות גבוהה? ודאו שמערכות הבקרה שלכם מותאמות לזמן התגובה הספציפי של המנורות האלו.
החדשות הטובות הן שמנורות אלו נועדו להחליף את המנורות הקיימות. תוכלו לשמור על ההגדרות הנוכחיות שלכם, אך סוף סוף לא תצטרכו לדאוג לנושא הזיהום.