Pourquoi nous avons abandonné l’ozone dans nos lampes infrarouges de séchage
Dans les usines de semi-conducteurs, la « propreté » n’est pas simplement un objectif : c’est essentiel. Si vous laissez derrière vous ne serait-ce qu’une petite quantité de résidus chimiques, vous avez un problème. C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes infrarouges sans ozone.
La plupart des systèmes infrarouges traditionnels produisent accidentellement de l’O₃ en tant que sous-produit. Ce n’est pas bon. En éliminant cet ozone, nous ne faisons pas seulement respecter les normes écologiques ; nous protégeons également le matériel utilisé.
La science derrière cela
Voici ce qui se passe réellement. Les lampes infrarouges standards émettent des rayonnements dans la plage de 185 nm à 254 nm. Cette énergie spécifique agit sur l’oxygène présent dans l’air, le divisant et créant ainsi de l’ozone.
Dans une salle propre, l’ozone représente un véritable cauchemar : il dégrade les métaux sensibles et endommage les polymères organiques. Pour éviter cela, nous utilisons des revêtements et des additifs spéciaux dans les tubes en quartz. Ces éléments agissent comme des filtres, bloquant les rayonnements UV.
Vous conservez donc toute la chaleur nécessaire, mais pas de gaz corrosifs.
Arrêter de chauffer l’air
Imaginez un four à convection géant : vous dépensez beaucoup d’argent et d’électricité juste pour chauffer de l’air. C’est inefficace.
Les lampes infrarouges, elles, agissent directement sur la surface à traiter. C’est plus rapide et moins gourmand en énergie. Comme nous ne gaspillons plus d’énergie à chauffer toute la pièce, la consommation d’énergie par wafer diminue considérablement. Vous chauffez bien la pièce à traiter, mais pas l’air ambiant.
La vérité sur ce changement
Je ne vais pas prétendre que c’est une solution magique. Il y a quelques points à prendre en compte. Comme nous filtrons certaines longueurs d’onde pour éliminer l’ozone, la distribution spectrale change légèrement. Vous ne pouvez pas simplement actionner un interrupteur et partir. Il faudra probablement ajuster la vitesse du convoyeur ou la hauteur de la lampe pour obtenir le profil de séchage souhaité.
Et si vous travaillez avec des lignes de production à haute vitesse ? Assurez-vous que vos contrôleurs PID soient réglés en fonction du temps de réponse spécifique de ces lampes filtrées.
La bonne nouvelle, c’est que ces lampes peuvent être utilisées comme remplaçantes directes. Vous pouvez conserver votre installation actuelle, mais vous n’aurez plus à vous soucier de la contamination.