Arrêtez de gaspiller de l’énergie dans votre chambre à vide
Voici la réalité du travail en environnement à vide : la convection n’est plus possible. Il ne reste que la radiation. Si vous n’êtes pas prudent, une grande partie de l’énergie coûteuse disparaît simplement dans les parois de la chambre. Lorsque vous traitez des wafers, chaque watt gaspillé représente en fait une faille dans le fonctionnement du système.
C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs recouverts d’or. Cela peut sembler luxueux, mais en réalité c’est assez simple. Nous voulons que l’énergie infrarouge atteigne directement le wafer, sans être absorbée par l’acier.
Pourquoi de l’or ?
La plupart des gens commencent par utiliser de l’aluminium ou de l’acier inoxydable poli. Ces matériaux ont l’air brillants, mais dans le spectre infrarouge, ils agissent comme des éponges : ils absorbent beaucoup trop d’énergie. Nous préférons donc utiliser une couche d’or de haute pureté. L’or est excellent pour renvoyer les ondes infrarouges là où elles doivent aller. Ainsi, la chaleur est dirigée vers le wafer. Le résultat ? Les temps de chauffage diminuent, et la consommation d’énergie reste faible.
Faire en sorte que chaque watt compte
Il est difficile de maintenir une température constante sur un wafer de 300 mm. C’est un véritable défi. En réduisant les pertes dues à la radiation grâce à l’or, vous pouvez diminuer la puissance des lampes utilisées. Vous obtenez donc la même température de surface, mais avec une densité de puissance moindre. Vos alimentations électriques vous en seront reconnaissantes.
L’inconvénient (car il y en a toujours un)
Cette efficacité vient avec des limites. Ces systèmes concentrent fortement la chaleur. Si la position de la lampe est incorrecte, même de quelques millimètres, vous verrez des gradients thermiques extrêmes. Il ne faut pas négliger les contrôleurs PID ou les thermocouples : ils doivent être suffisamment rapides pour compenser ces problèmes. Vérifiez également votre système de refroidissement : s’il n’est pas adapté pour gérer la chaleur reflétée, vos joints risquent de se détériorer.
Nous concevons ces systèmes pour qu’ils s’intègrent parfaitement dans vos lignes de vide existantes. L’objectif est de diriger la chaleur exactement là où elle est nécessaire : sur le substrat. Aucun gaspillage. Aucune surchauffe inutile. Seulement une chaleur efficace et contrôlée.