Arrêtez de surchauffer vos équipements : une manière meilleure de chauffer les wafers
Le problème dans le traitement des semi-conducteurs, c’est qu’il faut chauffer les wafers, mais sans faire fondre l’intérieur de la machine.
La plupart des chauffages standards dispersent l’énergie partout. C’est un vrai désordre. Cette chaleur excédentaire seaccumule sur le châssis de la machine, ce qui peut entraîner des brûlures pour les opérateurs. De plus, le cadre de la machine peut se déformer à cause de cette chaleur. Ce n’est certainement pas une bonne façon de gérer un laboratoire.
Cibler la chaleur
Pour y remédier, nous utilisons des lampes infrarouges à ondes courtes. Au lieu de compter sur l’air pour diffuser la chaleur, ces lampes utilisent la radiation.
L’astuce consiste à utiliser des réflecteurs ou des lentilles recouverts d’or. Cela permet de diriger le flux thermique directement vers la surface du wafer. C’est comme utiliser un projecteur plutôt qu’un éclairage général. La majeure partie de l’énergie va là où elle doit aller, tandis que les parois intérieures restent beaucoup moins chaudes.
Trouver le bon équilibre
La distance est cruciale ici. Si vous placez la lampe trop près, la chaleur sera intense, mais vous obtiendrez des points chauds au lieu d’une température uniforme. Mais si vous l’éloignez trop, vous perdez toute efficacité. L’énergie se disperse, et vous finissez par chauffer toute la pièce plutôt que le wafer.
Il faut donc trouver la bonne longueur focale en fonction de la taille du wafer. Il s’agit de trouver un équilibre.
Assurer la sécurité
L’objectif est que la machine reste froide au toucher à l’extérieur. En isolant la source infrarouge et en utilisant ces optiques directionnelles, nous pouvons maintenir les parois intérieures bien en deçà de la « zone dangereuse » pour éviter les brûlures.
Mais n’oubliez pas : les lampes à haute puissance deviennent extrêmement chaudes à leur source. Vos ventilateurs de refroidissement ou vos systèmes de refroidissement par eau doivent être suffisamment performants pour gérer toute cette énergie. Si le système de refroidissement est insuffisant, cette chaleur finira par traverser l’isolation, peu importe à quel point les lampes ont été bien calibrées.
Un conseil rapide : utilisez des câbles résistants aux hautes températures. Personne ne veut avoir affaire à de l’isolation fondue près des prises de connexion des lampes.