Deje de esperar a que sus obleas se sequen: por qué el infrarrojo es mejor que el aire caliente
Si ha trabajado en procesos avanzados de semiconductores, sabrá que la fase de enjuague suele ser el momento en el que todo se ralentiza. Es el típico cuello de botella.
Todavía veo muchos talleres que utilizan aire caliente para secar sus obleas. Claro, funciona, pero lleva mucho tiempo. Si pasa a utilizar lámparas infrarrojas resistentes al agua, está cambiando las reglas del juego.
Hablemos del tiempo
El aire caliente funciona mediante convección: se calienta el aire y se sopla sobre la superficie de las obleas. Pero hay que esperar a que la humedad se evapore, lo cual es un proceso lento y tedioso.
El infrarrojo es diferente: utiliza energía radiante. El calor se mueve en línea recta y llega instantáneamente a la superficie de las obleas. Hablamos de segundos, no de minutos. Cuando el tiempo de secado disminuye tanto, se tiene mucho más espacio en el área de secado, ya que no es necesario que la línea de secado sea muy larga.
Resolver el problema de la humedad
Aquí está la parte complicada: las fases de enjuague son húmedas. Si se usa una lámpara infrarroja normal, esta se dañará en cuanto un gota de agua entre en contacto con el cuarzo caliente. Es un desastre.
Por eso usamos lámparas con sellos resistentes al agua y recubrimientos especiales. Estas pueden funcionar en zonas con alta humedad sin que los filamentos se dañen.
Además, estas lámparas reaccionan instantáneamente. Un horno de aire caliente tarda mucho en calentarse o enfriarse. Con el infrarrojo, está listo para usarlo enseguida. Solo se necesita un sistema de control preciso para mantenerlo funcionando correctamente.
Las desventajas
Pero no todo es perfecto. Las lámparas infrarrojas de alta intensidad generan mucho calor. Eso es bueno para acelerar el proceso, pero también representa una gran carga para el sustrato.
Si se utiliza demasiada potencia o las lámparas se colocan demasiado cerca, las obleas podrían deformarse. Hay que tomar el tiempo necesario para calibrar la altura y la potencia adecuadas según el espesor del material.
Pasar del aire caliente al infrarrojo no significa simplemente reemplazar una pieza. Es un cambio total en la forma en que se maneja el ciclo de secado. Podrá procesar las obleas mucho más rápido… siempre y cuando su sistema de enfriamiento pueda seguir el ritmo.