Deje de perder calor en su cámara de vacío
Esta es la realidad de trabajar en un ambiente de vacío: la convección desaparece. Lo único que queda es la radiación. Si no se tiene cuidado, casi toda la energía gastada simplemente se pierde en las paredes de la cámara. Al procesar wafers, cada vatio desperdiciado representa, en realidad, un defecto de diseño.
Por eso utilizamos reflectores recubiertos de oro. Puede sonar complicado, pero en realidad es bastante simple. Queremos que la energía infrarroja llegue al wafer, y no que se absorba en el acero.
¿Por qué oro?
La mayoría de las personas comienzan utilizando aluminio pulido o acero inoxidable. A simple vista parecen brillantes, pero en el espectro infrarrojo actúan como esponjas: absorben demasiada energía.
En su lugar, utilizamos una capa de oro de alta pureza. El oro es excelente para devolver las longitudes de onda infrarrojas al lugar donde deben estar. De esta manera, el calor se distribuye de manera más eficiente. El resultado es que los tiempos de calentamiento son más rápidos y la carga térmica se mantiene bajo control.
Hacer que cada vatio sirva de algo
Mantener una temperatura constante en un wafer de 300 mm es algo complicado. Se trata de encontrar un equilibrio. Al reducir las pérdidas por radiación gracias al uso del oro, se puede disminuir la potencia de las lámparas. Se obtiene la misma temperatura superficial, pero con menos densidad de potencia. Sus fuentes de alimentación le agradecerán este cambio.
El problema (porque siempre hay uno)
Esta eficiencia conlleva un riesgo: estos sistemas concentran el calor de forma intensa. Si la posición de las lámparas está incorrecta, incluso unos pocos milímetros pueden causar gradientes térmicos extremos. No se puede descuidar el funcionamiento de los controladores PID o de los termopares; deben ser lo suficientemente rápidos para mantener el equilibrio. Además, es necesario verificar que el sistema de enfriamiento sea adecuado para manejar el calor reflejado en los bordes. De lo contrario, los sellos del sistema podrían dañarse.
Diseñamos estos sistemas para que se integren fácilmente en sus líneas de vacío existentes. Se trata de dirigir el calor exactamente donde se necesita: sobre el sustrato. Sin desperdicios. Sin sobrecalentamiento de las partes incorrectas. Solo calor eficiente y preciso.