Die richtige Temperatur erzielen: Warum goldbeschichtete Doppelrohrlampen tatsächlich funktionieren
Wenn es um Halbleiterwafern geht, ist Wärme von entscheidender Bedeutung. Das Problem ist jedoch: Meistens wird nur das Chassis der Maschine erhitzt – und damit wird Energie verschwendet. Wenn man versucht, eine „grüne“ Fabrik zu betreiben, ist das ein Albtraum. Man möchte, dass jede Energiemenge direkt auf die Wafer trifft – und nicht auf die Luft drumherum.
Daher kommen unsere goldbeschichteten Doppelrohrlampen ins Spiel.
Der Trick mit der Goldbeschichtung
Herkömmliche Quarzlampen strahlen Infrarotstrahlung überallhin ab. Das ist unpraktisch. Durch die Goldbeschichtung entsteht im Grunde ein Spiegel, der die Langwellenstrahlung wieder zurück zum Ziel reflektiert. Dadurch wird die Energie konzentriert. Es entsteht ein viel präziseres Temperaturprofil – man erreicht somit die gewünschte Temperatur schneller. Das Beste daran: Man muss nicht die Leistung erhöhen, um dieses Ziel zu erreichen.
Warum zwei Röhren statt einer?
Stellen Sie sich vor, man versuche, eine große Wafer mit einer einzigen Quelle zu erwärmen. Es entstehen Hotspots – die Wafer verformen sich. Am Ende ist die ganze Charge ruiniert. Durch den Einsatz von Doppelrohrlampen verdoppelt sich die Strahlfläche – ohne dass dadurch mehr Platz benötigt wird. Die Wärme wird gleichmäßig verteilt. Da diese Lampen pro Quadratzoll mehr Leistung liefern, kann man weniger davon verwenden. Das macht die Anlage effizienter.
Achtung: Was man beachten muss
Diese Lampen sollten in der Regel an hochpräzise PID-Controller angeschlossen werden, um eine konstante Temperatur zu gewährleisten. Doch sie sind anspruchsvoll in ihrer Bedienung. Sagen Sie Ihrem Wartungsteam unbedingt: Berühren Sie die Goldbeschichtung auf keinen Fall mit bloßen Händen. Die Öle in der Haut können in das Gold eindringen und dort permanente dunkle Flecken hinterlassen. Solche Flecken werden zu Schwachstellen – und letztendlich brennt die Röhre aus.
Fazit
Durch den Einsatz dieser Lampen sinkt die Gesamtenergieverbrauch pro Wafer. Es handelt sich dabei um eine einfache Möglichkeit, den Kohlenstofffußabdruck in der Fabrik zu verringern.
Noch ein Tipp: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühlventilatoren. Diese Lampen erzeugen viel Wärme – wenn die Kühlung nicht ausreicht, können die Sensoren beschädigt werden.