Bei der Temperaturkontrolle im Ofen zeigt sich kein Warnsignal, wenn es zu Abweichungen kommt. Stattdessen zeigen sich diese Abweichungen in Form von Schwankungen der kritischen Dimensionen nach der Belichtung, in Form eines „Schwanzes“ im Profil des Fotoleiters – oder in Form von Produktionsverlusten, die erst nach Tagen behoben werden können. Bei der Trocknung der Wafer wird die thermische Energie gezielt genutzt – wodurch eine schnelle Erhitzung sowie eine präzise Kontrolle möglich sind. Zudem lassen sich die Erhitzungsprofile von Charge zu Charge wiederholen.
Was wirklich wichtig ist
Wir verwenden Quellen mit kurzwelligem Infrarotlicht – schließlich gelangt die Energie direkt in den Fotoleiter und das Substrat der Wafer, anstatt die Wände des Ofens zu erhitzen. Dadurch wird eine schnelle Erhitzung erreicht, außerdem lässt sich die Temperatur präzise steuern. Der Spitzenstrom wird dabei an den Volumenraum und den Luftstrom des Ofens angepasst – dadurch erreicht die Lampe die gewünschte Temperatur schnell und hält sie dort, ohne Überhitzung.
Die Quarzkapsel sowie die keramischen Komponenten sorgen dafür, dass kaum Partikel entstehen – dadurch bleibt die Waferoberfläche sauber und kompatibel mit Reinräumen der Klassen 1–100. Die Lampe arbeitet rund um die Uhr, mit konstanter Leistung über 5.000 Stunden hinweg – bei weniger als 5% Intensitätsabweichung.
Warum das Verfahren in der Lithografievorbereitung funktioniert
Bei der Lithografievorbereitung bestimmt die sanfte Erhitzung das Zeitfenster für die Entfernung von Lösungsmitteln. Ist die Temperatur zu niedrig, bleiben die Lösungsmittel im Film zurück. Ist die Temperatur zu hoch, werden die Stoffe zerstört, die den Fotoleiter schützen. Unser Infrarotverfahren bringt die Wafer schnell auf die gewünschte Temperatur und hält diese stabil – dadurch sind die Erhitzungsprozesse von Charge zu Charge reproduzierbar.
Beim intensiven Erhitzen und Aushärten sorgt die Lampe dafür, dass das gewünschte thermische Profil beibehalten wird – ohne Hotspots. Dadurch bleibt die Integrität der Bauelemente gewahrt und die Produktionsqualität hoch. Zudem sinkt der Energieverbrauch, da die Lampe das Produkt direkt erhitzt – anstatt den Ofenkörper.
Praktische Details, die unbedingt beachtet werden müssen
Bei der Installation muss die Lampe der Geometrie des Ofenreflektors sowie dem Luftstrom angepasst werden. Wenn die Ausrichtung nicht korrekt ist, treten Unterschiede zwischen den verschiedenen Bereichen der Waferoberfläche auf. Vor der Integration sollten Sie die Spannung, die Anschlüsse sowie die thermischen Grenzwerte des Ofens überprüfen.
In Umgebungen mit hoher Feuchtigkeit sollte das Fenster der Lampe vor Kondenswasser geschützt werden – dazu dienen verschlossene Halterungen sowie lokale Lüftungsanlagen. Planen Sie außerdem regelmäßige Wartungsarbeiten ein, damit unerwartete Stillstände vermieden werden.