Gleichmäßige Wärme für 300 mm Wafer IR
Auf der 300-mm-Linie kann man erkennen, wenn sich das Trocknungsprofil verändert. Die Linienbreiten schwanken, und nach der Entwicklung taucht Schaum...
Mittelfrequenz Quarzheizröhre
In der Fertigungshalle ist eine Abweichung von 0,5 °C im Heizprofil des Photorezysts kein unbedeutender Faktor – es handelt sich dabei um Schrott....
Lampe zum Aushärten von Deep UV (DUV) Resistenzen
In der Fertigungshalle stellt das Trocknen des Fotolacks keine „Pause“ dar. Es handelt sich dabei um einen Kontrollpunkt, den man nicht einfach...
Intelligenter Elektroheizer
Der Markt für Außenheizungen ist überfüllt – und die Wahrheit ist: Nicht alle Elektroheizgeräte sind gleich konstruiert. Wenn man Wärme benötigt –...
Halogenlampe für das RTP System
In der Fertigungshalle ist es so: Eine Abweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Fotolacks kann dazu führen, dass kritische...
Kompakter Infrarot Trockner für ICs
In der Fertigungshalle kann schon eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad ausreichen, um die kritischen Dimensionen der Wafer zu...
Kleinster Elektroheizer
Abende im Freien sind nur dann angenehm, wenn die Wärme zuverlässig vorhanden ist. Mit Infrarot-Patioheizungen wird die Wärme schnell bereitgestellt...
Trocknungslampe für die OLED Herstellung
Bei der OLED-Lithografie gibt es keine Möglichkeit, auf thermische Schwankungen Rücksicht zu nehmen. Selbst geringe Temperaturunterschiede von ±0,5...
Elektrischer Heizkörper im Keller
Man kennt doch das Gefühl im Keller – es ist, als würde die Luft dort darauf warten, die Wärme wegzunehmen, sobald man die Treppe hinuntergeht....
Infrarot Heizung für den Außenbereich
Die Sonne geht unter – und die kühle Luft wird spürbar. Bald schon scheint das Versprechen eines entspannenden Abends im Freien eher unwahrscheinlich...
Heizgerät zur Charakterisierung von Halbleiterbauelementen
In der Fertigungsstätte kann eine Temperaturschwankung während der Charakterisierung der Wafer Ihre Ertragsmodelle ruinieren und den Prozessbereich...
Heizlampe für Flip Chip Bonding
Bei der Flachchipverbindung versagt das Verfahren bereits dann, wenn sich das thermische Profil ändert. Es entstehen kühle Stellen auf dem Wafer, und...
Schreibtischheizer
Ein Sonnensaal unter einem großen Glasdach ist wunderschön – bis der erste kalte Windstoß kommt. Die Wärme steigt auf und dringt durch die...
Halbleiterlaborofenlampe
Bei der Temperaturkontrolle im Ofen zeigt sich kein Warnsignal, wenn es zu Abweichungen kommt. Stattdessen zeigen sich diese Abweichungen in Form von...
Modulares Infrarot Heizfeld
Auf dem Fertigungsbereich ist das Backen von Fotolack keine Option – es ist eine thermische Verpflichtung. Eine Drift von 1,5 °C über den Wafer...