Warum wir auf Kohlenstofffaser-Infrarotbeleuchtung umsteigen
Seien wir ehrlich: Herkömmliche Konvektionsöfen sowie Trocknungsverfahren mit Lösungsmitteln sind äußerst umständlich. Sie sind langsam, erzeugen viel Schmutz und setzen Chemikalien ein, die heute niemand mehr in seinen Produktionsprozessen verwenden möchte.
Deshalb haben wir auf Kohlenstofffaser-Infrarotlampen umgestellt. Das ist eine sauberere Methode zum Arbeiten – ohne gefährliche Katalysatoren, ohne unangenehme Dämpfe und mit einem viel geringeren CO2-Ausstoß. Es macht einfach Sinn.
Wie es funktioniert
Herkömmliche Metallfilamente sind zwar in Ordnung, aber Kohlenstofffaser ist etwas Besonderes. Sie verwendet einen Kohlenstoffkern mit hoher Resistenz, der Wärme im mittel- bis langwelligen Spektrum abgibt.
Das Tolle daran: Die Wärme gelangt genau dorthin, wo sie gebraucht wird – direkt in die Schichten aus Fotoresist oder Klebstoff – ohne dass das darunterliegende Siliziumsubstrat schädigt wird. So entsteht eine gezielte Heizung. Keine Sorgen mehr wegen der störenden thermischen Verformungen, die beim Einsatz von heißer Luft entstehen.
Energieeinsparung – und auch Ihre Gesundheit
Wenn Sie nach leitfreien Standards arbeiten, wissen Sie, wie stressig die Temperatursteuerung sein kann. Ein einziger Fehler kann dazu führen, dass die Wafer beschädigt werden.
Kohlenstofffaserlampen lösen dieses Problem, denn sie erreichen ihre Zieltemperatur fast sofort. Es muss kein riesiges Stück Metall vorher erhitzt werden. Zudem wird keine Energie verschwendet, indem die Luft im gesamten Raum erwärmt wird. Nur der betreffende Bereich wird erhitzt. Dadurch sinkt der Energieverbrauch pro Wafer – was sowohl die Kosten senkt als auch den Planeten etwas schonter behandelt.
Die Herausforderungen
Es handelt sich dabei nicht um Magie. Man muss trotzdem auf die Leistungsdichte achten. Wenn man zu viele Watt in einen kleinen Raum bringt, entstehen Hotspots. Man muss die Geschwindigkeit des Transportbands sowie die Höhe der Lampe genau einstellen – sonst verbrennen die Ränder des Substrats.
Ein weiterer Tipp: Achten Sie auf die Kühlventilatoren. Wenn diese nicht richtig funktionieren, kann sich die Raumtemperatur erhöhen, was wiederum zu Fehlern bei den Sensoren führen kann.
Wir haben diese Lampen so entworfen, dass sie einfach als Ersatz für Ihre aktuellen Geräte verwendet werden können. Sie verkürzen die Trocknungszeit und ersetzen die schädlichen Lösungsmittel. Es ist also eine schnellere und sauberere Methode, die Arbeit zu erledigen.