Hören Sie auf, Energie zu verschwenden – für die Heizung des Arbeitsplatzes in Ihrem Reinraum!
Wenn Sie schon einmal Zeit damit verbracht haben, Siliziumwafern zu erhitzen, kennen Sie diese Frustsituation sicherlich. Man gibt Energie in eine Infrarotlampe ein – doch ein großer Teil dieser Energie geht einfach verloren.
Herkömmliche Lampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Ohne einen geeigneten Reflektor geht etwa die Hälfte der Energie daraufhin drauf, den Gehäusebereich des Arbeitsplatzes zu erwärmen – anstatt tatsächlich auf die Wafer zu wirken. Das ist eine Verschwendung von Energie und belastet außerdem das Kühlsystem.
Deshalb verwenden wir reflektierende Oberflächen, die mit Gold überzogen sind.
Warum Gold?
Es klingt luxuriös – doch es handelt sich dabei um eine rein physikalische Entscheidung. Gold ist hervorragend darin, Infrarotlicht zurückzusenden. Aluminium ist zwar eine günstigere Alternative – doch es kann bei hohen Temperaturen nicht mithalten.
Die goldene Beschichtung fängt das Rückstrahlungswesen aus der Quarztube ab und leitet es direkt wieder auf die Wafer. Dadurch wird das gestreute Licht in einen gezielten Strahl umgewandelt. So bekommt man die nötige Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – ohne dass man die Leistung erhöhen oder das Gerät überlasten muss.
Die richtige Wärmesterke erreichen
Das Ziel ist eine schnelle Erhitzung der Wafer. Man möchte, dass die Wafer sofort die gewünschte Temperatur erreichen – und nicht erst in zehn Minuten.
Durch den Einsatz dieser goldbeschichteten Komponenten stellen wir sicher, dass jede einzelne Wattstunde wirklich ihren Zweck erfüllt. Es ist effizient und schnell. Und weil die Lösung so effektiv ist, kann das gesamte Heizsystem kleiner und kompakter sein.
Aber hier kommt das Problem: Gold ist etwas anspruchsvoll. Es hasst Verunreinigungen. Wenn durch Fehler im Reinraumprozess Öl oder Chemikalien auf die Reflektorschicht gelangen, nimmt die Reflexionsfähigkeit ab. Dann wird die Wärme nicht mehr gleichmäßig auf die Wafer abgegeben – das ist meist das erste Anzeichen dafür, dass die Reflektorschicht repariert werden muss.
Ein paar Tipps zur Installation
Wir haben diese Komponenten so gestaltet, dass sie leicht einzubauen sind. Sie können sie einfach in Ihren vorhandenen Arbeitsplatz einsetzen – ohne dass Sie extra Zeit damit verbringen müssen, die Höhe der Z-Achse neu einzustellen.
Ein wichtiger Hinweis zur Verkabelung: Passen Sie die Spannung der Stromversorgung genau der Spannung der Lampe an. Ich habe schon gesehen, wie Leute versucht haben, die Lampe mit zu hoher Spannung zu betreiben, um die Nachteile eines schmutzigen Reflektors auszugleichen. Das sollten Sie nicht tun – sonst verbrennt der Glühfaden viel zu früh. Halten Sie einfach die goldene Oberfläche sauber – dann bleibt die Wärme konstant und zuverlässig.