
别再让热量白白浪费在洁净室的工作台上
如果您曾经尝试过为硅片加热,那您一定明白其中的无奈。虽然我们向红外灯输入了大量的电能,但其中很大一部分能量却浪费掉了。
普通灯泡会将热量向各个方向散发。如果没有有效的反射装置,大约有一半的电能会被用来加热工作台的机体,而无法作用于硅片上。这不仅浪费了电能,还会给冷却系统带来负担。
因此,我们才使用镀金反射装置。
为什么选择黄金?
听起来很高端,但实际上这是基于物理原理的考虑。黄金具有极佳的反射红外线的能力。铝虽然是更便宜的材料,但在高温环境下其反射性能远远不及黄金。镀金层能够将石英管产生的反向辐射重新导向硅片上,从而将分散的热量集中起来。这样,热量就能精准地传递到需要加热的部位,无需增加功率,也不用给设备带来过大压力。
确保适当的温度密度
我们的目标是让温度尽快上升。希望硅片能立刻达到所需温度,而不是等待十分钟。通过使用镀金反射装置,我们可以确保每一瓦特的电能都能发挥最大作用。这样一来,整个加热装置就可以更加小巧轻便。
不过,黄金也有个缺点:它非常怕污染。如果洁净室的环境控制不当,导致油污或化学物质附着在反射面上,其反射性能就会下降。这时,热量就无法均匀地照射到硅片上,这通常就是反射面需要更换的信号。
一些安装建议
我们设计这些产品时,就是为了让它们易于安装。它们可以直接替换现有的反射装置,无需花费大量时间来重新调整Z轴的高度。
关于接线方面,有一点需要注意:必须确保电源电压与灯具的额定电压完全匹配。有人试图通过提高电压来弥补反射面不洁的问题,但这样做只会让灯丝过早损坏。只要保持反射面的清洁,热量就能稳定且可靠地传递下去。