别再给机器的墙壁加热了
在半导体洁净室中，错误地给某些部件加热其实是一种灾难性的行为。如果你依赖对流或普通辐射式加热器，那么你肯定已经遇到了问题：热量会四处散发。很快，机器的内壁就会变得非常热，甚至可能烫伤操作人员；而那些敏感的组件也会因为热膨胀而发生变形。这种情况既麻烦又危险。
我们采用定向红外加热技术来解决这个问题。
关键在于热量的传递方式。
可以把这种加热方式想象成手电筒，而不是传统的大功率取暖器。对流式加热只是让空气变暖，而红外灯则能以直线方式发射热量。我们把这种灯直接对准晶圆或基板，让材料吸收热量。这样一来，周围的空气和金属外壳都能保持低温。这样，就能在安全的范围内实现高效加热。
在有限的空间里实现高效加热。
为了减小机器的体积，我们使用短波红外发射器。它们能在极小的空间内释放出大量能量。速度极快，几秒钟就能达到目标温度。
不过，这也存在一些缺点。当功率过高时，情况就会变得很复杂。如果反射镜有瑕疵或位置不够精确，那么设备的墙壁上就会出现“热点”。因此，我们必须确保金制和铝制反射镜的表面绝对光滑，这样才能保证热量能够精确地传递到目标位置。
让一切变得更简单。
既然不再浪费热量，那么洁净室的空调系统就不必那么辛苦地工作了。我们设计的这些系统可以轻松替代那些老式的、笨重的加热装置。只需将它们连接到PID控制器上，就能精准控制温度。这样一来，就再也不会出现“墙壁过热”的问题了。操作人员也可以放心地靠近机器，同时也不必再为那些由环境温度变化引起的虚假警报而烦恼。它真的非常实用。