如何保持100级洁净室的清洁状态
在运营100级洁净室时，供暖是个棘手的问题。问题不在于温度本身，而在于那些看不见的微小颗粒。
普通的红外灯就存在这个问题——它们的端盖会释放出微小的金属碎片。如果这些碎片落在晶圆或光学涂层上，那就等于白白浪费了很多钱。
我们通过使用高纯度石英管以及专门的陶瓷端盖来解决这个问题。其工作原理如下：
高纯度石英的优势
我们选择合成高纯度石英，因为它在高温下也不会出现异常。如果使用普通玻璃，并将其加热到1000摄氏度，玻璃要么变形，要么开始释放挥发性有机化合物。这对洁净室来说显然是不可取的。
这些发光体利用的是高强度的短波光谱。简单来说，热量直接作用于目标物体，不会浪费时间去加热周围的空气，因此房间内的温度可以保持在理想状态。
为什么需要使用陶瓷端盖
端盖往往是出现问题所在。金属端盖容易氧化并逐渐脱落。我们则使用高级陶瓷材料来替代它们。这样，陶瓷材料的膨胀和收缩速率与石英管一致，从而确保在温度变化时，密封性不会受到影响。此外，这种陶瓷材料不会释放任何气体或碎片，从而实现完美的密封效果，让卤素气体留在内部，而杂质则被排除在外。
几点需要注意的事项
这些部件可以直接替换现有的组件。不过需要注意的是，高纯度石英比普通的掺杂玻璃更易碎。如果固定装置夹得过紧，石英管在受热膨胀时可能会断裂。所以，要给石英管一些空间。哪怕只是一点点余量，也能起到很大的作用。
另外，还要注意电源供应情况。这些石英管为了保持零污染的状态，必须以极限状态运行，因此电压波动可能会导致灯丝损坏。请确保PID控制器能够精确控制电压，避免出现过度调节的情况。