Kiểm soát nhiệt độ trong quy trình sản xuất bán dẫn
Việc sản xuất bán dẫn đòi hỏi sự chính xác tuyệt đối về mức nhiệt độ. Chỉ cần nhiệt độ sai lệch một chút thôi, mọi thứ sẽ trở nên tồi tệ. Đó là lý do tại sao chúng tôi từ bỏ những hệ thống sưởi truyền thống và chuyển sang sử dụng các bộ điều khiển sấy bằng tia hồng ngoại kỹ thuật số.
Tại sao phương pháp này hiệu quả?
Hãy nghĩ về những thiết bị sưởi truyền thống: chúng dành một nửa thời gian để làm nóng không khí xung quanh. Đó là sự lãng phí năng lượng. Ngược lại, tia hồng ngoại có thể truyền năng lượng trực tiếp vào wafer hoặc vật liệu cần sấy. Chúng tôi sử dụng các bộ điều khiển kỹ thuật số để điều chỉnh mức năng lượng một cách linh hoạt. Nhờ đó, chúng ta không cần lo lắng về việc nhiệt độ vượt quá mức cho phép nữa. Quá trình sấy diễn ra rất nhanh – chỉ trong vài giây thôi. Khi hoạt động 24/7, việc tiết kiệm năng lượng sẽ mang lại hiệu quả rõ rệt. Chúng tôi sử dụng các bộ điều khiển PID để duy trì nhiệt độ ở mức ±1°C, nhờ đó giúp giảm chi phí tiêu thụ điện năng.
Những chi tiết quan trọng: Thiết bị và dây điện
Bạn không thể đơn giản cắm thiết bị này vào ổ cắm thông thường được. Bộ điều khiển năng lượng cần được chăm sóc cẩn thận. Chúng tôi thường sử dụng các bộ điều khiển kiểu SCR, vì chúng có thể xử lý dòng điện cao mà không bị hỏng. Nhưng điều quan trọng là phải đảm bảo hệ thống làm mát hoạt động tốt. Các hệ thống sấy bằng tia hồng ngoại tạo ra lượng nhiệt lớn trong một không gian nhỏ. Nếu hệ thống làm mát kém, bộ điều khiển hoặc các cảm biến có thể bị hỏng. Đó là một sự đánh đổi: bạn nhận được mức nhiệt độ cao, nhưng cũng phải chú ý nhiều hơn đến việc làm mát các linh kiện điện tử.
Giảm thiểu tác động môi trường
Điều tuyệt vời nhất là mọi thứ đều được sấy khô nhanh hơn và tiêu thụ ít năng lượng hơn. Điều này giúp giảm lượng CO2 thải ra, mang lại lợi ích cho tất cả mọi người. Điều này đặc biệt rõ rệt trong quá trình sấy wafer. Thay vì để đèn hoạt động liên tục – điều này khiến chúng nhanh hỏng – chúng tôi sử dụng chế độ đèn nhấp nháy. Nhờ đó, đèn hoạt động lâu hơn, mức năng lượng tiêu thụ giảm, và toàn bộ quá trình diễn ra trơn tru hơn.