Ngăn chặn sự vỡ của bóng đèn: Giữ cho các wafer luôn sạch sẽ khi bóng đèn IR hỏng hóc
Trong những nhà máy sản xuất linh kiện bán dẫn có công suất lớn, việc bóng đèn nổ không chỉ gây ra tình trạng gián đoạn sản xuất mà còn là một thảm họa thực sự. Khi ống thủy tinh bị vỡ, những mảnh thủy tinh và khí halogen sẽ bay tứ tung. Chỉ cần một vụ nổ nhỏ thôi cũng đủ để toàn bộ lô wafer bị hỏng. Chúng tôi đã dành rất nhiều thời gian để tìm cách ngăn chặn điều này, bằng cách tập trung vào cấu trúc của bóng đèn và vật liệu được sử dụng để chế tạo chúng.
Giữ cho mọi thứ ở trong ống đèn
Chúng tôi không tin tưởng vào việc chỉ sử dụng một lớp thủy tinh duy nhất. Thay vào đó, chúng tôi sử dụng cấu trúc hai lớp. Lớp thủy tinh chính có chức năng chịu nhiệt, nhưng chúng tôi còn thêm một lớp bảo vệ bên ngoài nữa. Điều này giống như một “bảo hiểm” vậy: nếu sợi dây tóc bên trong bóng đèn bị hỏng hoặc ống thủy tinh bị nứt dưới áp lực, các mảnh vỡ sẽ bị giữ lại bên trong ống đèn. Bạn sẽ không phải lo lắng về việc các mảnh thủy tinh rơi xuống các wafer nữa.
Những yếu tố quan trọng
Chúng tôi sử dụng thủy tinh tổng hợp có độ tinh khiết cao, bởi vì thủy tinh giá rẻ thì không thể sử dụng được. Thủy tinh có chất lượng thấp chứa nhiều tạp chất, và những tạp chất này sẽ chuyển thành khí ở nhiệt độ cao, gây ra hiện tượng mờ đục trên bề mặt wafer.
Chúng tôi cũng chú ý đến mật độ công suất của bóng đèn. Không được để có những điểm nóng cục bộ.
Một mẹo nhỏ: đừng cố gắng tăng điện áp quá mức. Tôi biết rằng việc tăng điện áp sẽ giúp tăng tốc độ đạt nhiệt độ mong muốn, nhưng điều đó chỉ khiến bóng đèn nhanh hỏng hơn mà thôi. Hãy đảm bảo rằng nguồn điện được thiết lập sao cho phù hợp với trở kháng của bóng đèn.
Đảm bảo mọi thứ hoạt động tốt trong nhà máy
Các kết nối phải được thực hiện một cách chặt chẽ. Chúng tôi sử dụng các đầu nối tiêu chuẩn, vì việc kết nối lỏng lẻo sẽ tạo ra những điểm nóng. Những điểm nóng này sẽ gây ra áp lực nhiệt lên các đầu bóng đèn, và đó chính là nguyên nhân khiến bóng đèn hỏng.
Và xin hãy cẩn thận khi lắp đặt bóng đèn. Hãy tuân thủ các quy trình làm việc trong phòng sạch. Ngay cả một dấu vân tay nhỏ trên bề mặt thủy tinh cũng có thể gây ra vấn đề. Trước khi lắp đặt, hãy lau sạch bề mặt thủy tinh bằng dung dịch IPA.
Cuối cùng, hãy chú ý đến hệ thống làm mát. Nếu hệ thống không thể giữ nhiệt độ ở mức dưới 200°C, các lớp niêm phong của bóng đèn sẽ bị hư hỏng. Và một khi các lớp niêm phong bị hỏng, bóng đèn cũng sẽ nhanh chóng hỏng hóc.