Đảm bảo rằng các bộ sưởi trong phòng sạch không gây ra hư hỏng nghiêm trọng
Trong ngành sản xuất semiconductors, việc bộ sưởi trên các thiết bị trong phòng sạch bị hỏng không chỉ là một sự cố kỹ thuật đơn giản. Đó thực sự là một thảm họa. Bạn không chỉ phải đối mặt với tình trạng máy móc ngừng hoạt động, mà còn có nguy cơ xảy ra tình trạng nhiễm bẩn, khiến cả lô wafer bị hỏng.
Chúng tôi chế tạo những thiết bị này để duy trì nhiệt độ ổn định cho các wafer. Nhưng thách thức thực sự nằm ở việc đảm bảo dòng điện được cung cấp đúng chỗ cần thiết.
Tại sao chúng tôi tăng điện áp lên mức cao nhất?
Trước khi mỗi thiết bị rời khỏi xưởng của chúng tôi, chúng tôi đều tiến hành kiểm tra chúng bằng phương pháp “kiểm tra áp suất cao” và kiểm tra độ cách điện.
Chúng tôi không chỉ kiểm tra xem dòng điện có hoạt động hay không. Chúng tôi tăng điện áp lên mức cao hơn nhiều so với mức sử dụng thực tế trong phòng sạch. Tại sao? Vì chúng tôi muốn phát hiện ra những khuyết điểm ẩn giấu trong thiết bị.
Hãy tưởng tượng một vết nứt vi mô trên vật liệu gốm hoặc một sợi dây bị tổn thương trong quá trình lắp ráp. Ở mức điện áp bình thường, có lẽ mọi thứ vẫn ổn. Nhưng dưới mức điện áp cao? Vết nứt đó sẽ lan rộng ra, gây ra hư hỏng nghiêm trọng.
Việc phát hiện những lỗi này trong phòng thí nghiệm của chúng tôi dễ dàng hơn nhiều so với việc bạn phát hiện chúng sau khi đã lắp đặt thiết bị vào phòng sạch.
Nguy cơ từ dòng điện rò rỉ
Khi độ cách điện giảm, sẽ xảy ra hiện tượng dòng điện rò rỉ. Trong môi trường sản xuất semiconductors, điều này là một thảm họa. Nó làm hỏng các thiết bị nhạy cảm và khiến các cảm biến hoạt động không ổn định.
Chúng tôi đo khoảng cách giữa bộ phận sưởi và phần vỏ máy được nối đất, để xác định giá trị độ cách điện. Nhưng đây là điểm khó: nhiệt độ cao khiến các vật liệu giãn nở. Nếu độ cách điện không đủ tốt, chúng sẽ bị hỏng dưới áp lực đó. Chúng tôi tính đến yếu tố giãn nở nhiệt này trong quy trình kiểm soát chất lượng, để bạn không cần lo lắng về vấn đề này.
Sự cân bằng giữa các yếu tố
Luôn có sự đánh đổi giữa các yếu tố khác nhau. Nếu bạn muốn độ cách điện cao, bạn cần sử dụng lớp vỏ dày hơn hoặc các bộ phận lớn hơn.
Nhưng nhược điểm là trọng lượng sẽ tăng lên. Trọng lượng lớn khiến việc đạt được nhiệt độ mong muốn mất nhiều thời gian hơn.
Bạn cần quyết định xem điều gì quan trọng hơn trong hệ thống của mình: độ cách điện tuyệt đối hay tốc độ đạt nhiệt độ nhanh chóng. Lưu ý rằng nếu bạn chọn những thiết bị có độ cách điện cao, hãy đảm bảo rằng nguồn điện của bạn có thể chịu đựng được dòng điện cao ban đầu.