Ngừng việc sưởi ấm các bức tường của máy móc
Trong phòng sạch dành cho ngành bán dẫn, việc sưởi ấm những bộ phận không cần thiết thực sự là một vấn đề nghiêm trọng. Nếu bạn sử dụng phương pháp sưởi bằng luồng khí hoặc các loại đèn sưởi thông thường, chắc hẳn bạn đã gặp phải vấn đề: nhiệt lượng bị lan tỏa khắp nơi. Bức tường bên trong máy sẽ trở nên quá nóng, có thể gây bỏng cho người vận hành máy. Các linh kiện nhạy cảm cũng sẽ bị ảnh hưởng do hiện tượng giãn nở nhiệt. Điều này rất nguy hiểm và gây ra nhiều rắc rối.
Chúng tôi giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng đèn hồng ngoại có khả năng chiếu nhiệt theo hướng cụ thể. Bí quyết nằm ở cách mà nhiệt lượng được truyền đi. Hãy tưởng tượng đó như một chiếc đèn pin thay vì một chiếc máy sưởi thông thường. Trong khi phương pháp sưởi bằng luồng khí chỉ làm ấm không khí, thì đèn hồng ngoại lại phát ra bức xạ theo đường thẳng. Chúng ta có thể hướng ánh sáng từ đèn trực tiếp vào wafer hoặc vật liệu cần được xử lý. Vật liệu này sẽ hấp thụ năng lượng, còn không khí xung quanh thì vẫn giữ được độ mát. Nhờ vậy, khu vực xử lý sẽ có nhiệt độ cao, nhưng bề mặt kim loại bao quanh vẫn giữ được độ mát.
Tận dụng tối đa diện tích nhỏ
Để giúp máy móc có kích thước nhỏ hơn, chúng tôi sử dụng các bộ phát hồng ngoại công suất cao. Chúng có thể tạo ra nhiều năng lượng trong một không gian nhỏ. Quá trình xử lý diễn ra rất nhanh – chỉ trong vài giây thôi.
Nhưng cũng có một điểm cần lưu ý: khi sử dụng công suất cao, mọi thứ sẽ trở nên phức tạp hơn. Nếu các bộ phản xạ ánh sáng bị hư hỏng hoặc không được đặt đúng vị trí, thì sẽ xuất hiện những điểm nóng trên bức tường. Đó là lý do tại sao chúng tôi rất chú trọng đến việc đảm bảo các bộ phản xạ ánh sáng được đánh bóng kỹ lưỡng. Bạn cần đảm bảo rằng ánh sáng được chiếu một cách chính xác.
Giúp mọi người làm việc dễ dàng hơn
Khi bạn ngừng việc lãng phí nhiệt lượng, hệ thống điều hòa không khí trong phòng sạch sẽ không cần phải hoạt động quá nhiều nữa. Chúng tôi thiết kế những hệ thống này để thay thế các bộ sưởi cũ, kém hiệu quả. Chỉ cần kết nối chúng với bộ điều khiển PID, bạn sẽ có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác. Không còn những tai nạn do nhiệt độ cao nữa. Các nhân viên có thể tiếp cận máy móc một cách an toàn, và bạn cũng không cần phải lo lắng về những cảnh báo nhiệt độ sai lệch nữa. Mọi thứ đều hoạt động rất tốt.