Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn sạch sẽ thực sự khó khăn.
Khi vận hành một phòng sạch loại Class 100, việc điều chỉnh nhiệt độ là một thách thức lớn. Vấn đề không nằm ở nhiệt độ tổng thể, mà nằm ở những chất vô hình có thể xuất hiện trong phòng sạch.
Các bóng đèn hồng ngoại thông thường gây ra vấn đề này. Chúng giải phóng các hạt kim loại nhỏ từ đầu đèn. Nếu những hạt này rơi lên bề mặt wafer hoặc lớp phủ quang học, bạn sẽ lãng phí rất nhiều tiền một cách vô ích.
Chúng tôi đã giải quyết vấn đề này bằng cách sử dụng ống thạch anh có độ tinh khiết cao kết hợp với các đầu đèn bằng gốm chuyên dụng. Đây là cách mà nó hoạt động.
Tại sao chúng tôi chọn ống thạch anh có độ tinh khiết cao?
Chúng tôi chọn ống thạch anh tổng hợp vì chúng không bị ảnh hưởng bởi nhiệt độ cao. Nếu sử dụng thủy tinh thông thường và đưa nhiệt độ lên 1000°C, thủy tinh sẽ bị biến dạng hoặc giải phóng các hợp chất hữu cơ bay hơi. Điều này không tốt chút nào đối với một phòng sạch.
Những bóng đèn này sử dụng bước sóng ngắn để truyền nhiệt trực tiếp đến mục tiêu. Như vậy, không cần phải làm nóng không khí xung quanh, giúp duy trì nhiệt độ trong phòng ở mức mong muốn.
Tại sao chúng tôi chọn đầu đèn bằng gốm?
Đầu đèn thường là nơi gây ra vấn đề. Các đầu đèn bằng kim loại dễ bị oxy hóa và bong tróc theo thời gian. Chúng tôi sử dụng gốm chất lượng cao để thay thế. Như vậy, chúng sẽ giãn nở và co lại theo tốc độ tương tự như thạch anh, giúp duy trì sự kín khít của phòng sạch.
Ngoài ra, gốm không giải phóng khí hay bong tróc. Như vậy, chúng giúp duy trì sự kín khít, ngăn chặn khí halogen thoát ra ngoài.
Một vài điều cần lưu ý:
Bạn có thể thay thế các bóng đèn này vào hệ thống hiện có của mình. Nhưng cần lưu ý rằng ống thạch anh có độ tinh khiết cao khá giòn so với thủy tinh thông thường. Nếu các braket ghép ống quá chặt, ống có thể bị vỡ khi giãn nở. Hãy để cho ống có chút không gian để giãn nở. Chỉ cần một chút khoảng trống nhỏ thôi cũng đã giúp ích rất nhiều.
Ngoài ra, hãy chú ý đến nguồn điện cung cấp cho bóng đèn. Những bóng đèn này hoạt động ở ngưỡng công suất tối đa để duy trì mức độ sạch tuyệt đối. Vì vậy, những dao động điện áp có thể làm hỏng bóng đèn ngay lập tức. Hãy điều chỉnh bộ điều khiển PID để tránh tình trạng này.