300 ملی میٹر لائن پر، جب بیکنگ کا عمل شروع ہوتا ہے، تو اس کا اثر فوراً محسوس ہوتا ہے؛ لائنوں کی چوڑائی میں تغیرات آتے ہیں، اور ڈیولپمنٹ کے بعد سطح پر ناخالصیاں دکھائی دینے لگتی ہیں۔ جب ہاٹ زون، سیٹپوائنٹ سے لڑنے لگتا ہے، تو فوٹوریزسٹ کی کارکردگی متاثر ہوتی ہے، اور پیداواری صلاحیت بھی کم ہو جاتی ہے۔ ہم نے اپنے انفراریڈ سسٹم کو اس مسئلے کو روکنے کے لئے ڈیزائن کیا ہے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں:
شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز، ویفر کی سطح پر حرارتی یکسانیت کو برقرار رکھنے کے لئے استعمال کئے جاتے ہیں؛ یہ 300 ملی میٹر کی سطح پر ±0.1°C کی حد میں حرارت کو برقرار رکھتے ہیں۔ تیز رفتار ردِعمل کی وجہ سے حرارتی تاخیر کم ہو جاتی ہے، اور درجہ حرارت مطلوبہ سطح پر ہی رہتا ہے۔ ہاٹ زون، کلاس 1 سے لے کر کلاس 100 تک کے کلین رومز کے لئے مناسب ہے، اور یہ مستقل حالت میں کوئی ذرات پیدا نہیں کرتا۔ اس طرح 24/7 بغیر کسی رکاوٹ کے کام جاری رہتا ہے، اور ہر بار CD اور موٹائی کی سطح مستقل رہتی ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی اہمیت:
لیتھوگرافی میں، “سافٹ بیک” کا مقصد حل کو ختم کرنا اور فلم پر دباؤ کو کنٹرول کرنا ہے؛ “ہارڈ بیک” کے ذریعہ تصویر محفوظ کی جاتی ہے، تاکہ اسے ایچنگ یا امپلانٹ کرنے کے لئے تیار کیا جا سکے۔ یکساں انفراریڈ حرارت کی وجہ سے، ویفر کی سطح پر حرارتی ردِعمل یکساں رہتا ہے۔ کناروں پر موجود بلبلے بھی قابل پیشن گوئی رہتے ہیں، اور اہم ابعاد بھی مستقل رہتے ہیں۔ اس کے نتیجے میں دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، تقسیم بھی بہتر ہو جاتی ہے، اور فضلہ بھی کم ہو جاتا ہے۔
توانائی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے:
یہ سسٹم صرف مطلوبہ علاقے کو گرم کرتا ہے، اور تیزی سے حرارت پہنچاتا ہے؛ اس طرح حرارتی ماس کنٹرول میں رہتا ہے، اور بجلی کی کھپت بھی کم ہو جاتی ہے۔
عملی پہلو:
ہاٹ زون بہت چھوٹا ہے، اور اسے ٹریک یا کوٹ/بیک ماڈیول میں شامل کیا جا سکتا ہے۔ ویفر کے ارد گرد کی جگہ بہت کم ہے، اور ہوا کے بہاؤ کو بھی سسٹم کے موجودہ ڈیزائن کے مطابق رکھنا ضروری ہے۔
کمیشننگ کا عمل بہت آسان ہے:
لیمپ کی طاقت، ایمیسیویٹی، اور PID کو اپنے ریزسٹ اسٹیک کے مطابق ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے۔ ایک بار سیٹ کرنے کے بعد، پروفائل بار بار دہرایا جا سکتا ہے۔ لیکن اگر ریزسٹ کی کیمسٹری تبدیل کی جائے یا موٹی فلم استعمال کی جائے، تو ایک بار پھر ایڈجسٹمنٹ کی ضرورت ہوتی ہے، تاکہ یکسانیت اور کارکردگی برقرار رہ سکے۔