فیبرکیٹ فلور پر، فوٹوریزسٹ کو بھوننے کا عمل کوئی “وقفہ” نہیں ہے؛ بلکہ یہ ایک ایسا کنٹرول پوائنٹ ہے جسے دھوکہ دے کر تبدیل نہیں کیا جاسکتا۔
اگر سافٹ بیک یا ہارڈ بیک کے دوران درجہ حرارت میں 1°C کا فرق پیدا ہوجائے، تو اس سے کرٹیکل ڈائمینشن میں تغیر پیدا ہوجاتا ہے، اور لائنوں کی سطح بھی خراب ہوجاتی ہے۔ ہم نے اپنے ڈیپ یو وی ریزسٹ بیک لیمپ کو ایسے ہی ڈیزائن کیا ہے کہ درجہ حرارت اسی سطح پر رہے جس کی عمل کے لئے ضرورت ہے، نہ کہ اس سطح پر جہاں لیمپ خود قائم ہے۔
جب ویفروں کو بھونا جارہا ہوتا ہے، تو اہم بات یہ ہے کہ درجہ حرارت میں استحکام برقرار رہے۔ لیمپ، ویفر کی سطح پر درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر ہی رکھتا ہے؛ اس سے حل کا مناسب استعمال اور کراسلنکنگ کا عمل بھی بہتر ہوتا ہے۔
ڈیوی وی ریزسٹ کیمیاء کے لئے، لیمپ کی ریزوننس فریکوئنسی کو مختصر-ویو اور میڈیم-ویو کے لحاظ سے ایڈجسٹ کیا گیا ہے؛ اور تیز حرارتی ردِعمل کی وجہ سے بیکنگ کا وقت کم ہوجاتا ہے، لیکن پروفائل کنٹرول برقرار رہتا ہے۔
کلین روم کے معیارات کے لحاظ سے بھی یہ لیمپ بہترین ہے؛ کلاس 1–100 کے ماحول میں اس سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور یہ سسٹم 24/7 کام کرتا رہتا ہے، بغیر کسی غیرمتوقع تعطل کے۔
آپ کو اس کے فوائد واضح طور پر معلوم ہوں گے؛ کیوں کہ فوٹوریزسٹ کو بھوننے کے دوران درجہ حرارت کی درستگی سے کرٹیکل ڈائمینشن میں تغیر کم ہوجاتا ہے، اور دوبارہ کام کرنے کی ضرورت بھی کم ہوجاتی ہے۔
توانائی کی کھپت بھی کم ہے، اور طویل عمر والے ایمیٹرز کی وجہ سے سپیئر پارٹس اور صفائی کی ضرورت بھی کم ہے۔
یہ ایک مستند، بین الاقوامی سیمی کنڈکٹر آلات کے معیارات کے مطابق ہے؛ یعنی یہی حرارتی کارکردگی، لیکن آپ کو کسی خاص فراہم کنندہ پر انحصار کرنے کی ضرورت نہیں ہے۔
ایک اہم بات یہ ہے کہ درجہ حرارت کی یکسانیت، چیمبر کی ساخت اور ویفر کی حیثیت پر منحصر ہے۔ بہترین نتائج تب حاصل ہوتے ہیں جب لیمپ کو خاص چیمبر کے ماحول کے مطابق ڈھالا جائے، اور بیکنگ کے عمل کو نئے پروفائل کے مطابق ایڈجسٹ کیا جائے۔
ہم انٹرفیس ڈیٹا اور استعمالی نوٹس بھی فراہم کرتے ہیں، تاکہ تبدیلیوں کو قیاسات کے بجائے درست طریقے سے ناپا جاسکے۔