فیبرک فلور پر، آپ جانتے ہی ہیں کہ کیا ہوتا ہے: فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کے دوران 0.5°C کی تبدیلی بھی کسی اہم پیمائش کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کر سکتی ہے، اور اس طرح پوری پروڈکشن لاٹ بیکار ہو سکتی ہے۔ RTP صرف حرارت سے متعلق نہیں ہے؛ بلکہ یہ وہ عمل ہے جس میں ویفر کی سطح پر حرارت کو کنٹرول کیا جاتا ہے، تاکہ کلین روم کے ماحول کو خراب نہ کیا جائے۔
جو چیزیں اہم ہیں: ہم نے ان ہیلوجن لیمپوں کو شارٹ-ویو انفراریڈ روشنی اور کوارٹز اینویلپمنٹ کے ساتھ تیار کیا ہے، تاکہ ردِعمل تیز ہو اور حرارتی تاخیر کم ہو۔ اس طرح پروسیس زون میں ویفر کی سطح پر ±0.1°C کی درستگی حاصل ہوتی ہے، جو کہ سافٹ بیک اور ہارڈ بیک کے دوران درکار درستگی ہے۔ یہ لیمپ کلاس 1–100 کے کلین روموں کے لئے مناسب ہیں، اور ان کے مواد اور ڈھانچے کو اس طرح منتخب کیا گیا ہے کہ ذرات کی تعداد کم رہے۔ لیمپ کی کارکردگی 5,000 گھنٹوں تک مستحکم رہتی ہے، اور لومین کی سطح میں 5% سے بھی کم کمی ہوتی ہے؛ اس طرح ہر ہفتے دوبارہ کیلیبریشن کی ضرورت نہیں پڑتی۔
لیتھوگرافی اور RTP میں اس کی اہمیت: یہاں حرارتی کنٹرول بہت اہم ہے۔ بہتر درستگی سے ویفر کی سطح پر موجود نقائص کم ہوتے ہیں، CD کنٹرول بہتر ہوتا ہے، اور پہلی بار ہی پروڈکشن کی شرح بہتر ہوتی ہے۔ تیز رفتار ریمپ ریٹس سے سائیکل ٹائم کم ہوتا ہے، بغیر پاور کو بہت زیادہ بڑھانے کی ضرورت کے۔ پروسیس کو صاف رکھنے سے کم ویسٹ پیدا ہوتا ہے، اور لیمپ کی مستحکم کارکردگی سے ہر بار یکساں نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ اور چونکہ یہ سسٹم جلدی ہی مطلوبہ حد تک پہنچ جاتا ہے، اس لئے حرارتی تغیرات کی وجہ سے توانائی کا ضیاع کم ہوتا ہے۔
کچھ اہم نکات: ±0.1°C کی درستگی کو برقرار رکھنے کے لئے، مناسب ریفلیکٹرز اور درست فوکل الائنمنٹ ضروری ہے۔ انہیں پرانے RTP آلات میں استعمال کرنا آسان ہے، لیکن کوارٹز اینویلپمنٹ کو احتیاط سے ہی استعمال کرنا ہوتا ہے؛ کیونکہ چھوٹی سی خراش بھی بعد میں ذرات کا سبب بن سکتی ہے۔ استعمال کرنے سے پہلے، اپنے خاص ریسیپی پر ٹیسٹ کریں، تاکہ ریمپ پروفائل اور ٹائمنگ درست رہے۔