На виробничому полі, пластинка після процедури CMP, яка виходить з розчину, все ще містить мікрокраплі на своїх поверхнях. Це означає, що для отримання якісного продукту потрібно ще провести додаткові операції. Проблеми, пов’язані з водяними слідами, повторним нанесенням матеріалу чи руйнуванням структури пластинки, зазвичай проявляються на більш пізньому етапі – саме тоді, коли починається літографія та етching. Пристрій для сушіння – це не просто „зручний допоміжний пристрій“. Це останній елемент системи контролю температури перед тим, як пластинка виходить з пристрою CMP.
Що є важливим з технічної точки зору? Ми створили пристрій для сушіння пластинок після процедури CMP на основі кварцового галогенного випромінювача короткої довжини хвилі. Він швидко та безпосередньо передає енергію, а його продуктивність залишається стабільною. Рівномірність температури по всій поверхні пластинки контролюється на рівні ±0,1°C, що забезпечує стабільність температури навіть між першою та останньою пластинкою, які обробляються.
Корпус приладу призначений для використання в чистих приміщеннях класу 1–100; його поверхні не виділяють частинок під час термічних циклів. Генерацію частинок зменшується завдяки конструкції з мінімальним вивільненням газів, а також завдяки ізоляції гарячої зони від потоку повітря, який міг би повернути забруднення на пластинку. Це забезпечує можливість повторної сушки пластинки без залишення видимих слідів.
Чому цей пристрій ефективний у реальних умовах сушіння після процедури CMP? У процедурі сушіння після процедури CMP ключовим є стабільна евапорація рідини без пошкодження шарів матеріалу. Чіткий контроль температури дозволяє зберігати параметри фоторезисту та діелектричних шарів у заданих межах, навіть після механічної та хімічної обробки.
Це дозволяє скоротити час обробки, адже пристрій швидко досягає потрібної температури. Крім того, кількість відхилених пластинок зменшується, оскільки процес може повторюватися без проблем. Високоефективний випромінювач та конструкція, яка мінімізує втрати енергії, дозволяють значно скоротити споживання енергії. Надійність приладу залежить від стану чистих приміщень – занадто велика кількість розчинників та частинок може скоротити термін служби приладу та порушити рівномірність температури. Слід ставитися до приладу як до необхідної частини процесу обробки пластинок, а не як до додаткового елемента. Це забезпечить стабільність температури на рівні ±0,1°C, що дозволить пластинкам залишатися сухими та чистими перед подальшою обробкою.