Під час процесу сушіння OLED-дисплеїв технологія літографії не дозволяє враховувати можливі теплові відхилення. Навіть незначні відхилення на рівні ±0,5°C можуть призвести до неоднорідності параметрів покриття, а також до проблем із процесом етchingу. Тож необхідна лампа для сушіння, яка буде залишатися стабільною у своїй роботі, а не змінювати свої параметри залежно від умов навколишнього середовища.
Що ми створили та чому
Ми використали галогенні випромінювачі короткохвильового інфрачервоного спектру всередині кварцового корпусу для сушіння OLED-дисплеїв. Це дозволяє швидко передавати енергію до фоторезисту з мінімальним нагріванням самого підкладку. Система контролю температури забезпечує стабільність температури в межах ±0,1°C по всій поверхні пластини, а повторюваність результатів – 0,05°C між циклами.
Ця система підходить для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Ми переконалися, що при її використанні не виникає жодних частинок, завдяки вбудованому системі контролю. Контроль температури здійснюється за допомогою каліброваного пірометра та методу компенсації емісії, що дозволяє вимірювати температуру на поверхні фоторезисту, а не на корпусі лампи.
Чому ця технологія підходить для виробництва OLED-дисплеїв
Під час сушіння фоторезисту та інших процедур, пов’язаних з ним, температурний режим має бути дуже строгим. Якщо температура занадто низька, розчинники не встигають випаруватися. Якщо температура занадто висока, виникають дефекти, які потім передаються на сам дисплей. Ця лампа забезпечує точне контролювання температури під час сушіння, що дозволяє зберігати стабільність параметрів дисплея.
Швидке нагрівання скорочує час сушіння, що сприяє підвищенню продуктивності без необхідності підвищення температури до критичного рівня. Ця технологія є ефективною через високий коефіцієнт перетворення електроенергії на випромінювання та низьку теплову масу, що зменшує витрати на електроенергію та кількість відходів тепла в чистому приміщенні. Надійність цієї системи забезпечується завдяки можливості її безперервної роботи 24/7; досвід використання показує, що система може працювати тисячі годин без проблем.
Що потрібно врахувати під час планування
Лампа є компактною, але їй необхіден спеціальний канал відведення повітря та стабільне електроживлення для збереження її ефективності. Якщо ви плануєте використовувати її в існуючих системах, потрібно врахувати необхідність використання адаптерів для підключення та керування. Перед початком роботи необхідно переконатися у правильності підключення та функціонування системи керування.
Необхідно провести коротку серію тестів, щоб оптимізувати параметри сушіння для вашого типу фоторезисту, а потім закріпити отримані результати.