На виробничій лінії все просто: навіть зміна температури на 0,5°C під час обробки фоточутливого шару може призвести до зміни критичних розмірів на рівні нанометрів, що може зруйнувати всю партію продукції. Процес RTP полягає не лише у нагріванні – йдеться про контроль температури на рівні кожної диски, без якогось впливу на умови в чистій кімнаті.
Що є важливим у суті
Ми створили ці галогенні лампи з використанням короткохвильового інфрачервоного випромінювання та кварцового корпусу. Це дозволяє отримати швидку реакцію лампи з мінімальною затримкою в нагріванні. Таким чином досягається однорідність температури на рівні кожного диска в межах ±0,1°C протягом усього процесу. Це саме те, що потрібно для точного контролю температури під час процедур нагрівання. Корпус лампи підходить для використання в чистих кімнатах класу 1–100; матеріали та конструкція корпусу розроблені так, щоб зменшити кількість частинок у повітрі. Яскравість лампи залишається стабільною протягом понад 5 000 годин, з втратою менше 5% світлової потужності. Це дозволяє проводити тривалі процеси без необхідності перекалібрування кожні кілька тижнів.
Чому це важливо в літографії та процесі RTP
У цьому процесі температурний контроль є дуже важливим. Висока однорідність температури допомагає зменшити кількість дефектів на краях диска, покращує контроль розмірів елементів та підвищує якість продукції. Швидке нагрівання дозволяє скоротити час процесу, не підвищуючи при цьому пікову потужність. Стабільні умови процесу та відсутність частинок у повітрі дозволяють зменшити кількість бракованої продукції та необхідність повторної обробки. А оскільки система швидко досягає заданої температури та підтримує її, витрачається менше енергії на компенсацію температурних коливань.
Кілька порад щодо використання
Щоб досягти однорідності температури в межах ±0,1°C, необхідні правильно підібрані відбивачі та точна налаштування фокусу. Встановлення цих елементів у існуючі пристрої типу RTP є простим, але кварцовий корпус вимагає обережного поводження та чистого встановлення – навіть найменші подряпини можуть стати джерелом частинок у майбутньому. Перед початком використання необхідно провести коротку перевірку параметрів пристрою, щоб визначити оптимальні параметри роботи.