Wafer’larınızı beklemeyi bırakın: Neden kızılötesi ışık, sıcak hava yönteminden daha iyidir?
Eğer yarı iletkenlerin işlenmesiyle ilgili işlerle uğraştıysanız, yıkama aşamasının genellikle her şeyin yavaşladığı bir aşama olduğunu bilirsiniz. Bu, klasik bir engeldir.
Hâlâ birçok işletmenin wafer’lerini kurutmak için sıcak hava kullanmasına tanık oluyorum. Elbette bu yöntem işe yarıyor. Ama çok uzun zaman alıyor. Eğer su geçirmez kızılötesi lambalar kullanırsanız, aslında oyunun kurallarını değiştirmiş olursunuz.
Zaman konusunda konuşalım…
Sıcak hava yönteminde ısı, havanın ısıtılmasıyla sağlanır. Havanın yüzey üzerine üflenmesiyle nemin buharlaşmasını beklersiniz. Bu oldukça yavaş ve zahmetli bir süreçtir.
Kızılötesi ışıkta ise durum farklıdır. Radyasyon enerjisi kullanılır; ısı düz hatlar boyunca hareket eder ve wafer yüzeyine anında etki eder. Burada dakikalar yerine saniyelerden bahsediyoruz. Kurutma süresi böylece büyük ölçüde azaldığında, kurutma hatlarının çok uzun olmasına gerek kalmaz.
“Islak” sorunuyla başa çıkma
İşin zor kısmı şu: Yıkama aşamalarında ortam ıslaktır. Eğer standart bir kızılötesi lamba kullanırsanız, su damlaları sıcak kuvars yüzeyine temas ettiğinde lamba bozulur veya hasar görür. Bu berbat bir durumdur.
Bu yüzden su geçirmez kaplamalara sahip lambalar kullanıyoruz. Böylece lambalar yüksek nemli ortamlarda bile zarar görmeden çalışabilir. Ayrıca bu lambalar anında tepki verir. Sıcak hava fırınlarının ısınması veya soğuması uzun sürer. Kızılötesi ışıkta ise bu işlem anında gerçekleşir. Sadece hassas bir kontrol mekanizmasına ihtiyacınız vardır.
Dezavantajlar
Tabii ki her şey mükemmel değil. Yüksek yoğunluktaki kızılötesi ışık çok fazla ısı üretir. Bu hız açısından harika bir özelliktir, ancak malzemenin bunu kaldırması zordur. Eğer gücü fazla ayarlarsanız veya lambaları çok yakın mesafede yerleştirirseniz, waferlerde deformasyon oluşur. Bu durumu önlemek için malzemenizin kalınlığına göre uygun şekilde ayarlama yapmanız gerekiyor.
Sıcak hava yerine kızılötesi ışık kullanmak sadece bir parçayı değiştirmek anlamına gelmez; aynı zamanda işlem süresini yeniden düşünmek anlamına gelir. Wafer’leri sistem içinde çok daha hızlı hareket ettirebilirsiniz… Tabii soğutma aşamasının bu hıza yetişebilmesi gerekiyor.