Fabrikada Sıcaklığı Kontrol Altına Almak
Yarı iletken üretimi, inçler ve derecelerle ilgili bir iştir. Eğer sıcaklık bile biraz yüksek veya düşükse, işler karışır. İşte bu yüzden eski, verimsiz ısıtma sistemlerinden vazgeçip dijital IR kurutucu kontrol cihazlarına geçiyoruz.
Asıl amaç, enerji israfını engellemektir. Temiz odalar çok fazla enerji tüketir; biz de bu karbon ayak izini azaltmaya çalışıyoruz.
Dijital IR Sistemlerinin Neden Etkili Olduğu
Eski tip ısıtıcılar, zamanlarının yarısını sadece çevrelerindeki havayı ısıtmakla geçirir. Bu büyük bir israftır. IR radyasyonu ise farklıdır; enerjiyi doğrudan wafer veya substrata iletilir. Dijital kontrol cihazları sayesinde gücü anlık olarak ayarlayabiliyoruz. Böylece sıcaklık kontrol altında tutulur ve artık “aşırı ısınma” sorunu olmaz.
Çok hızlıdır; hedef sıcaklığa ulaşmak için saniyeler yeterlidir. 24/7 çalışan bir fabrikada bu tasarruflar önemlidir. PID döngüleri sayesinde sıcaklık ±1°C aralığında tutulur ve böylece enerji faturaları kontrol altında kalır.
Donanım ve Kablolarla İlgili Detaylar
Bunu doğrudan duvara bağlayamazsınız. Güç devresine özel ilgi gereklidir. Genellikle SCR (Silikon Kontrollü Direktör) güç kontrol cihazları kullanılır; çünkü bunlar yüksek akım yüklerini sorunsuzca idare edebilir. Ancak soğutma fanlarının doğru şekilde çalışması gerekir.
Dijital IR sistemleri, çok küçük bir alanda büyük miktarda ısı üretir. Eğer hava akışı yetersizse, kontrol cihazı aşırı ısılanabilir veya sensörler zarar görebilir. Bu bir tür denge meselesidir; yüksek ısı yoğunluğu elde edilir, ancak elektroniklerin soğutulması konusunda daha dikkatli olmak gerekir.
Fabrika Performansını İyileştirmek
En iyi yanı ise her şeyin daha hızlı kuruması ve daha az enerji tüketmesidir. Bu da birim başına daha az CO2 üretimi anlamına gelir; bu da herkes için avantajlıdır.
Bunu en çok wafer kurutma aşamasında görüyoruz. Lambaları sürekli açık bırakmak yerine dijital pulsasyon yöntemi kullanılır. Böylece lambalar daha uzun süre dayanır, enerji tüketimi azalır ve tüm süreç daha sorunsuz ilerler.