На участке обработки пластин после процедуры CMP пластина, выходящая из раствора, все еще содержит микрокапли жидкости на своей поверхности. Это означает, что такая пластина готова к дальнейшей обработке. Проблемы в виде следов от воды, повторного нанесения слоев и искажения структуры пластины обычно возникают позже, уже на этапе литографии и эрозии. Устройство для сушки – это не просто удобный аксессуар; это последний этап термической обработки перед тем, как пластина покидает установку CMP.
Что имеет значение с технической точки зрения Мы разработали устройство для сушки пластин после процедуры CMP на основе кварцевого галогенового излучателя коротких волн. Он обеспечивает быстрое и прямое передачу энергии, при этом мощность остается стабильной. Равномерность температуры по всей поверхности пластины контролируется на уровне ±0,1°C, что достигается благодаря использованию специальных материалов. Благодаря этому температурные параметры остаются стабильными как для первой, так и для последней пластин.
Корпус устройства соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100; его поверхности не выделяют частиц в процессе термической обработки. Образование частиц снижается за счет конструкции, предотвращающей выделение газов, а также за счет изоляции рабочей зоны от потока воздуха, который мог бы принести загрязнения обратно на пластину. В результате достигается стабильная сушка без образования видимых загрязнений.
Почему это устройство эффективно в практическом применении В процессе сушки после процедуры CMP важна стабильная эвапорация жидкости без повреждения слоев на поверхности пластины. Точный контроль температуры позволяет сохранять параметры фоторезиста и подлежащих обработке диэлектрических слоев в заданных пределах, даже после механической и химической обработки.
Это позволяет сократить время обработки, поскольку устройство быстро достигает заданной температуры. Кроме того, снижается количество бракованных пластин, поскольку процесс может выполняться снова и снова. Высокоэффективный излучатель и оптимальная конструкция минимизируют потери энергии. Надежность устройства зависит от условий работы в чистой комнате: если там слишком много пар растворителей и частиц, это сокращает срок службы устройства и нарушает его работу. Необходимо относиться к устройству как к неотъемлемой части процесса обработки, тогда оно будет сохранять стабильную температуру ±0,1°C, что поможет сохранить пластины сухими и чистыми до следующего этапа обработки.