При использовании технологии OLED-литографии не остается никакой возможности для тепловых отклонений. Даже незначительные отклонения в диапазоне ±0,5°C могут привести к нарушению однородности слоя фоторезиста, а также к проблемам с процессом его этчинга. Необходимо использовать лампу для сушки, которая будет работать с точностью, а не менять свои параметры в течение дня.
Что мы создали и почему
Мы разместили лампу для сушки OLED внутрь кварцевого корпуса с использованием галогенных излучателей с коротковолновым инфракрасным излучением. Это позволяет быстро передавать энергию в фоторезист без значительного нагрева подложки. Система контроля обеспечивает стабильность температуры в диапазоне ±0,1°C по всей поверхности пластины, а точность повторяемости составляет 0,05°C за цикл.
Эта система предназначена для использования в чистых комнатах класса 1–100. Мы подтвердили отсутствие образования частиц с помощью внутреннего контроля. Контроль осуществляется с использованием калиброванного пирометра и коррекции эмиссивности для измерения температуры на поверхности фоторезиста, а не на корпусе лампы.
Почему это работает на предприятиях по производству OLED
На этапах сушки фоторезиста и его обработки тепловые условия имеют критическое значение. Если температура слишком низкая, растворители не успевают испариться. Если температура слишком высока, происходит газообмен, что приводит к дефектам в структуре фоторезиста. Эта лампа обеспечивает точное поддержание температуры при каждом цикле, что позволяет сохранять стабильность параметров фоторезиста.
Быстрый подъем температуры сокращает время обработки, что повышает производительность без необходимости поднятия температуры до критических значениях. Система эффективна благодаря высокому коэффициенту преобразования электрической энергии в излучение и низкой тепловой массе, что снижает затраты на энергию и количество отходящего тепла в чистую комнату. Надежность системы обеспечивается за счет возможности работы 24/7; данные из практического использования показывают тысячи часов стабильной работы.
Что необходимо учитывать при планировании
Лампа имеет компактные размеры, но для стабильной работы ей требуется специальный канал для вывода отработанных газов и стабильное электроснабжение. Если вы планируете интегрировать её в существующую систему, потребуется использование адаптеров для соединения с механическими и контрольными элементами. Перед началом эксплуатации необходимо проверить тип разъемов, корпус лампы и функции взаимодействия с ПЛК.
Необходимо выполнить краткую процедуру настройки, чтобы определить оптимальные параметры обработки фоторезиста, а затем закрепить их.