При процессе соединения чипов с помощью технологии флип-чип все идет хорошо, пока не нарушается тепловой баланс. В зоне соединения появляются «холодные пятна», а за ними следуют поры в заполнителе. Это снижает качество продукции, увеличивается количество необходимых корректировок, а сроки выполнения работ задерживаются. Мы разработали специальный нагреватель для процесса флип-чип соединения, чтобы устранить эту неопределенность.
Что важно в процессе работы Система использует модули нирвидимого света с кварцевыми оптическими элементами для быстрого и локализованного нагрева места соединения. На всей площади зоны соединения однородность температуры сохраняется в пределах ±0,1°C, а повторяемость процесса — в пределах ±0,5°C. Время регулировки температуры составляет менее 100 мс, что позволяет поддерживать точный тепловой баланс без его нарушения. Устройство предназначено для использования в чистых комнатах класса 1–100; его поверхности обработаны так, чтобы исключить образование частиц и выделение газов.
Отсутствие частиц здесь не является просто слоганом — это требование, обусловленное выбором материалов, герметизацией и контролируемым потоком воздуха.
Почему это работает на практике При процессе флип-чип соединения необходимо, чтобы тепло достигало нужного места именно в нужное время, при этом другие элементы не должны нагреваться. Энергия нирвидимого света нагревает только само место соединения, оставляя соседние элементы прохладными. Это снижает риск деформации и помогает избежать проблем с диэлектриками с низкой проницаемостью.
Высокая однородность температуры и возможность точного контроля позволяют добиваться стабильного процесса плавления металлов, предсказуемого формирования межметаллических соединений и снижения количества бракованных изделий. Устройство также может использоваться для обработки фотополимеров — для мягкой и жесткой обработки. Точность температуры помогает сохранять стабильность критических размеров элементов. Результат: меньше отклонений, более высокий процент качественных изделий и стабильная производительность.
На что обратить внимание Устройство можно легко интегрировать в стандартные установки для соединения чипов, но требуется строгое соблюдение параметров выравнивания. На настройку устройства потребуется около 12 часов: калибровка температуры, проверка чистоты помещения и т. д.
Мощность устройства можно регулировать, но наилучшая стабильность достигается при работе устройства на уровне 40–80% от его номинальной мощности. Если устройство будет работать на максимальной мощности постоянно, его срок службы сократится. Необходимо планировать замену устройства заранее и иметь в наличии запасные кварцевые компоненты, чтобы избежать проблем с производительностью.