Прекратите угадывать время сушки пластин: почему именно инфракрасное излучение — лучший выбор
При сушке пластин для МЭМС-датчиков вы работаете с влагой, что представляет опасность. Один неверный шаг может привести к тому, что поверхностное натяжение сведет вместе все эти крошечные, хрупкие микроструктуры. Это явление называется «сцеплением», и оно представляет серьезную проблему для тех, кто стремится добиться высокой производительности.
Если вы строите современный завод по производству полупроводников, нельзя полагаться на старые методы. Необходимо использовать такой источник тепла, который будет работать эффективно.
Создание программируемого источника тепла
У традиционных конвекционных печей есть один серьезный недостаток: они работают медленно. Им требуется много времени на нагревание, а также на охлаждение. Получение точных данных с таких печей подобно попытке управлять кораблем без руля.
Поэтому мы перешли на использование инфракрасного излучения. Инфракрасное излучение можно рассматривать как своего рода переключатель тепла. Процесс нагрева происходит мгновенно. Благодаря возможности точного регулирования мощности процесс нагрева становится всего лишь еще одной переменной в коде управления. Вы можете подключить устройство напрямую к ПЛК, тем самым обеспечивая одинаковое обработку каждой пластины. Это позволяет получать предсказуемые результаты и повторять процесс снова и снова. К тому же это устройство отлично совместимо с остальной цифровой аппаратурой.
Преимущества использования кратковолнового инфракрасного излучения
Для обработки пластин для МЭМС мы используем кратковолновое инфракрасное излучение. Почему? Потому что оно не создает лишних проблем. Оно быстро нагревает поверхность пластины, избавляя ее от влаги за несколько секунд. К тому времени, когда пластина начинает нагреваться, вода уже исчезла, что значит, что лучи инфракрасного излучения не имеют возможности вызвать сцепление микроструктур.
Но есть один нюанс: высокая плотность мощности полезна для сокращения размеров оборудования, но при этом возникает много тепла. Если вы используете высокомощные устройства, не забывайте о правильном охлаждении корпуса. В противном случае электроника будет перегреваться, что приведет к серьезным проблемам.
Почему это лучше старых методов
Большинство людей привыкли нагревать воздух в надежде, что компоненты тоже нагреются. Это пустая трата времени. Инфракрасное излучение обходит этот этап и нагревает пластину напрямую. Это делает процесс более быстрым. К тому же это помогает избежать перегрева чистой комнаты. Если добавить систему обратной связи с датчиками инфракрасного излучения, вы больше не будете полагаться на угадывания. Вы сможете видеть фактическую температуру поверхности в реальном времени и корректировать мощность нагрева в процессе работы. Вы больше не просто «запускаете процесс», а действительно контролируете физические процессы, происходящие на пластине.