Op de productielijn heeft thermische verschuivingen tijdens het drogen van de wafers of het verhitten van de fotoresistent niet alleen invloed op de productiecapaciteit. Ze beïnvloeden ook de nauwkeurige afmetingen van de wafers en leiden tot minder goede resultaten. Binnen een glovebox – waar de luchtdichtheid hoog is en er veel nadruk wordt gelegd op een stabiele temperatuur – proberen conventionele verwarmers de temperatuur uniform te houden, zonder dat er deeltjes worden gegenereerd. Onze infraroodverwarmers zijn speciaal ontworpen voor deze omstandigheden.
Wat belangrijk is We gebruiken korte-golf infraroodemitters met kwartsomhulsels. Hierdoor wordt de warmte snel en gericht afgegeven, en blijft de emissiviteit stabiel. Hierdoor wordt de temperatuur op het niveau van de wafers binnen ±0,1°C gehouden gedurende het hele proces. De respons van de warmers is voldoende snel om gelijk te kunnen gaan met hoge productiesnelheden. De uitvoer is reproduceerbaar, zodat de vereiste temperatuurprofielen steeds worden behaald, batch na batch. Deze elementen worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100, waarbij er weinig gassen vrijkomen en er geen deeltjes worden gegenereerd tijdens normaal gebruik.
Waarom dit in de praktijk werkt Bij het drogen van wafers zorgt de infraroodenergie ervoor dat oplosmiddelen snel en uniform worden verdreven. Dit vermindert de oppervlakdefecten. In de lithografie leidt de reproduceerbaarheid van het verhitten van de fotoresistent tot betere controle over de afmetingen van de wafers en minder herwerkingen. Bij het verpakken zorgen de voorspelbare temperatuurprofielen ervoor dat de hechting en betrouwbaarheid van het product behouden blijven. De energieverbruik neemt af, omdat de warmers alleen dan warmte leveren wanneer dat nodig is. De betrouwbaarheid komt tot uiting in lange bedrijfsuren; onze apparaten kunnen 24/7 draaien met een stabiele uitvoer en voorspelbare onderhoudsintervallen.
Opmerkingen ter plaatse De installatie hangt af van de interface met de glovebox, de vermogensdichtheid en de thermische ruimtes. Zorg ervoor dat de emitter past bij de geometrie van de reflector en dat de feedbackloop van de controller goed is afgesteld. Anders kunnen er hete plekken ontstaan. Kies de juiste spanning, afmetingen en aansluitingstype die passen bij uw apparatuur. Als dit goed wordt gedaan, zal het systeem goed functioneren. Anders gaat de thermische uniformiteit en reproduceerbaarheid verloren.