Op de productielijn kan zelfs een kleine temperatuurverandering van een halve graad ertoe leiden dat de kritieke dimensies van de chips veranderen en de opbrengst afneemt. Conventionele warmtelampen helpen niet tegen deze temperatuurverschillen en de bijbehorende onzekerheden. We hebben daarom een compacte infrarooddroger ontwikkeld voor het verwerken van IC’s, zodat deze variabiliteit uit het proces wordt gehaald.
Infraroodverwarming: sub-millimeterprecisie en herhaalbaarheid
De droger maakt gebruik van near-infraroodemitters die zijn afgestemd op de absorptie van het fotoresistmateriaal. Hierdoor dringt de energie sneller door tot het materiaal en blijft de temperatuur stabiel binnen ±0,1°C tijdens het drogenproces. Er wordt dus een sub-millimeterprecisie behaald, waardoor de temperatuur constant blijft.
Waarom dit werkt
Bij lithografie kan deze droger zowel zachte als harde droogprocessen met dezelfde precisie uitvoeren. Hierdoor wordt de tijd die nodig is voor het drogenproces verminderd, terwijl de kwaliteit van het resultaat gewaarborgd blijft. Bij het reinigen en drogen van chips haalt de droger het vocht weg, zonder dat de lage-k-films oververhit raken.
Praktische tips
Voor de installatie is een speciale 24 VDC-aansluiting vereist, evenals een schone werkplek die isolerend is tegen trillingen. De droger is optimaal ontworpen voor 150 mm en 200 mm grote chips. Voor 300 mm grote chips is een speciaal hulpmiddel nodig, evenals een kalibratiemonster. Voer eerst een kort testproces uit om de specificaties van uw chips te bepalen, en sluit daarna de instellingen vast.