Hentikan serpihan kaca: Jaga kebersihan wafer ketika lampu IR rosak
Dalam kilang pengeluaran semikonduktor yang berkapasiti tinggi, keretakan lampu bukan sekadar masalah yang menyebabkan gangguan operasi sahaja. Ia merupakan situasi yang sangat buruk. Apabila tiub kuarsa pecah, serpihan kaca dan gas halogen akan tersebar ke merata-rata tempat. Satu letupan sahaja sudah cukup untuk memusnahkan kesemua wafer yang ada. Kami telah meluangkan banyak masa untuk mencari cara untuk mengelakkan perkara ini daripada berlaku, dengan memberi perhatian kepada cara pembinaan lampu tersebut serta bahan-bahan yang digunakan.
Mengelakkan kekacauan di dalam lampu
Kami tidak percaya pada lapisan kaca yang tunggal sahaja. Sebaliknya, kami menggunakan struktur dua lapisan. Lapisan kuarsa utama berfungsi untuk menahan haba, tetapi kami juga menambah lapisan pelindung tambahan atau lapisan khas untuk melindungi wafer. Ini sama seperti polisi insurans. Jika filamen lampu rosak atau tiub itu retak akibat tekanan, serpihan kaca akan terperangkap di dalamnya. Dengan cara ini, anda tak perlu risau tentang serpihan kaca yang jatuh ke atas wafer anda.
Bahan yang benar-benar penting
Kami menggunakan kuarsa sintetik berkualiti tinggi, kerana kuarsa murah tidak dapat digunakan dengan baik. Kuarsa berkualiti rendah mengandungi kekotoran yang akan bertukar menjadi gas pada suhu tinggi, sehingga menyebabkan kerosakan pada wafer. Kami juga memantau ketumpatan tenaga yang digunakan. Jangan cuba “memaksa” lampu untuk beroperasi pada tahap tenaga yang lebih tinggi. Saya tahu ia memang menggoda untuk meningkatkan voltan agar suhu lampu dapat dinaikkan dengan cepat, tetapi tindakan ini akan merosakkan lampu tersebut. Ia akan memendekkan umur lampu dan meningkatkan risiko ia pecah. Pastikan bekalan kuasa yang digunakan sesuai dengan impedans lampu tersebut.
Memastikan segalanya berjalan lancar di kilang
Sambungan antara komponen-komponen lampu haruslah kukuh. Kami menggunakan penyambung standard, kerana sambungan yang longgar akan menyebabkan arka elektrik. Arka elektrik ini akan menyebabkan tekanan termal pada hujung lampu, dan inilah punca utama lampu pecah. Sila berhati-hati semasa memasang lampu tersebut. Gunakan prosedur pembersihan yang betul. Sektor cap jari sekalipun boleh menyebabkan tekanan pada lampu. Sebelum lampu digunakan, lap permukaannya dengan IPA terlebih dahulu. Satu perkara lagi—pastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan tidak dapat mengekalkan suhu hujung lampu di bawah 200°C, seal lampu akan rosak. Dan apabila seal lampu rosak, lampu tersebut akan pecah.