공장 내에서의 오염 문제로 걱정할 필요는 없습니다.
클래스 100급 청정실에서 작업할 때는 오류가 있을 여지가 전혀 없습니다. 아주 작은 먼지 조각이나 저품질의 가열 요소에서 나오는 가스만으로도 실리콘 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황이죠.
그래서 우리는 고순도의 합성 석영 IR 램프를 사용하고 있습니다.
왜 석영이 효과적인가?
우리는 거의 모든 불순물이 제거된 융합 규산을 사용합니다. 왜냐하면 온도가 매우 높아지면 일반적인 재료들은 분해되기 시작하기 때문입니다. 그 결과 금속 이온이나 VOC가 공정에 유입됩니다. 하지만 석영은 그런 일이 일어나지 않습니다.
게다가 석영은 급격한 전력 변동에도 파손되지 않습니다. 따라서 열을 강하게 가해도 튜브가 깨질 걱정은 하지 않아도 됩니다.
속도와 ‘열 문제’
이 램프들은 높은 와트 밀도를 자랑합니다. 즉, 짧은 파장대에 많은 에너지가 집중되므로, 기존의 대류식 방식보다 훨씬 빠르게 열이 전달됩니다.
하지만 문제는, 이러한 고출력으로 인해 장비의 외부에 많은 열이 발생한다는 것입니다. 최대 출력으로 작동할 경우, 장비의 냉각 시스템이 제대로 작동해야 합니다. 그렇지 않으면 장비가 손상될 수 있습니다.
장비에 설치하는 방법
우리는 부피가 큰 부품들을 사용하지 않았습니다. 그냥 간단한 구조로 설계되었습니다.
또한, 연결 부위에 사용되는 접착제나 flux 같은 것들도 사용하지 않았습니다. 그런 것들은 오염의 원인이 됩니다. 대신, 정밀하게 가공된 연결 부위를 사용하여 공기를 깨끗하게 유지합니다.
만약 이미 건조 모듈이 설치되어 있다면, 이 램프들은 그대로 교체할 수 있습니다. 우리는 석영 튜브와 전선 사이의 밀폐성을 최대한 확보하기 위해 많은 노력을 기울였습니다. 그렇게 하면 튜브가 손상되더라도 할로겐 가스가 청정실로 유출되지 않습니다.
이렇게 하면 생산 효율을 높이고 가동 중단 시간을 최소화할 수 있습니다.