클래스 100 청정실을 항상 깨끗하게 유지하는 방법
클래스 100 청정실을 운영할 때 난방은 상당히 골칫거리가 됩니다. 문제는 온도 그 자체가 아니라, 눈에 보이지 않는 미세한 입자들입니다.
일반적인 IR 램프는 이러한 문제를 야기합니다. 이 램프들은 끝부분에서 작은 금속 조각들을 방출합니다. 만약 그런 금속 조각들이 웨이퍼나 광학 코팅 위에 떨어진다면, 그건 마치 돈을 버리는 것과 같습니다.
우리는 고순도 석영관과 특수한 세라믹 덮개를 함께 사용하여 이 문제를 해결했습니다. 그 방법은 다음과 같습니다.
고순도 석영의 장점
우리는 합성된 고순도 석영을 사용합니다. 왜냐하면 이 석영은 고온에서도 변형되지 않기 때문입니다. 만약 일반 유리를 사용해 1000°C까지 가열한다면, 유리는 팽창하거나 휘발성 유기화합물을 방출할 것입니다. 이는 청정실에 있어서 좋은 상황이 아닙니다.
이러한 발광체는 집중된 단파 스펙트럼을 사용합니다. 즉, 열이 직접 목표물에 전달됩니다. 주변 공기를 가열하는 데 시간이 낭비되지 않으므로, 방의 온도는 원하는 대로 유지됩니다.
세라믹 덮개가 중요한 이유
보통 문제는 덮개 부분에서 발생합니다. 금속 덮개는 시간이 지남에 따라 산화되어 벗겨집니다.
우리는 고품질의 세라믹을 사용합니다. 세라믹은 석영과 같은 비율로 팽창하고 수축하기 때문에, 온도가 변동해도 밀폐 상태가 유지됩니다.
또한, 세라믹은 가스를 방출하지도, 조각이 떨어지지도 않습니다. 따라서 할로겐 가스는 안쪽에 남아 있고, 불순물은 바깥으로 나가지 않습니다.
주의해야 할 사항
이러한 부품들은 기존의 배열에 그대로 교체해서 사용할 수 있습니다. 하지만 주의해야 할 점이 있습니다. 고순도 석영은 일반 유리보다 더 부서지기 쉽습니다.
만약 고정 장치가 너무 단단히 조여져 있다면, 석영관이 팽창할 때 부서질 수 있습니다. 석영관에 약간의 여유 공간을 주는 것이 중요합니다. 조금만 여유를 주어도 큰 차이가 생깁니다.
또한, 전원 공급 장치도 잘 확인해야 합니다. 이러한 석영관들은 오염 없는 환경을 유지하기 위해 최대한의 성능을 발휘해야 하므로, 전압 변동이 생기면 필라멘트가 즉시 파괴될 수 있습니다. PID 컨트롤러를 정확하게 조절하여 과도한 전압이 가해지지 않도록 해야 합니다.