अपने उपकरणों को गर्म न करें: वेफरों को गर्म करने का बेहतर तरीका
अर्धचालक प्रसंस्करण में सबसे बड़ी समस्या यह है कि वेफरों को गर्म करना आवश्यक है, लेकिन इस प्रक्रिया में मशीन के अंदरूनी हिस्से नष्ट नहीं होने चाहिए।
अधिकांश सामान्य हीटर, ऊर्जा को हर जगह भेज देते हैं; इससे गर्मी एकत्र हो जाती है, जिससे ऑपरेटरों को चोट लग सकती है, एवं मशीन का ढाँचा भी गर्मी के कारण विकृत हो सकता है। यह प्रयोगशाला चलाने का अच्छा तरीका नहीं है।
ऊर्जा को केंद्रित करना
हम इस समस्या को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (IR) लैंपों का उपयोग करके हल करते हैं। हवा के द्वारा ऊर्जा को एक जगह से दूसरी जगह भेजने के बजाय, IR लैंप विकिरण का उपयोग करते हैं।
इसके लिए सोने से ढके रिफ्लेक्टरों/फोकल लेंसों का उपयोग किया जाता है; इससे ऊर्जा सीधे वेफर की सतह पर पहुँचती है। यह ऐसा ही है, जैसे कि स्पॉटलाइट का उपयोग किया जा रहा हो। अधिकांश ऊर्जा वहीं जाती है, जहाँ जानी चाहिए; इससे मशीन की आंतरिक दीवारें ठंडी रहती हैं।
सही दूरी निर्धारित करना
यहाँ दूरी बहुत महत्वपूर्ण है।
यदि लैंप को बहुत नजदीक रखा जाए, तो ऊर्जा बहुत अधिक हो जाती है; लेकिन ऐसी स्थिति में तापमान समान नहीं रहता। लेकिन यदि लैंप को बहुत दूर रखा जाए, तो ऊर्जा बिखर जाती है, और पूरा कमरा ही गर्म हो जाता है।
वेफर के आकार के आधार पर ही फोकल लंबाई निर्धारित की जानी चाहिए… यह तो संतुलन ही है।
सुरक्षा सुनिश्चित करना
उद्देश्य ऐसी मशीन बनाना है, जिसकी बाहरी सतह छूने पर ठंडी रहे। IR स्रोत को अलग रखकर, एवं उचित ऑप्टिकल उपकरणों का उपयोग करके, हम मशीन की आंतरिक दीवारों को “खतरनाक तापमान” से बचा सकते हैं।
लेकिन ध्यान रखें – उच्च वॉटेज वाले लैंपों से बहुत अधिक गर्मी उत्पन्न होती है। इसलिए कूलिंग फैन/वॉटर-जैकेट भी पर्याप्त मजबूत होने चाहिए। यदि कूलिंग प्रणाली कमजोर हो, तो गर्मी इन्सुलेशन को भी नष्ट कर देगी… चाहे लैंपों को कितनी भी सावधानी से रखा गया हो।
एक और सुझाव – उच्च तापमान वाले केबलों का ही उपयोग करें… कोई भी लैंप के पास पिघले हुए इन्सुलेशन से निपटना नहीं चाहेगा।