फैब फ्लोर पर, ऐसा ही होता है – फोटोरेजिस्ट को गर्म करने के दौरान 0.5°C का अंतर भी किसी चीज़ के आकार को नैनोमीटर स्तर पर बदल सकता है, जिससे पूरा उत्पादन बर्बाद हो सकता है। RTP में केवल ऊष्मा ही महत्वपूर्ण नहीं है; बल्कि वेफर-स्तर पर नियंत्रित ऊष्मा-नियंत्रण भी आवश्यक है, ताकि क्लीनरूम की स्थिति प्रभावित न हो।
क्या महत्वपूर्ण है?
हमने इन हैलोजन लैंपों को छोटी-तरंगदैर्घ्य वाले इन्फ्रारेड तरंगों एवं क्वार्ट्ज आवरण के साथ बनाया है; इससे प्रतिक्रिया तेज होती है, एवं ऊष्मा-संबंधी देरी न्यूनतम रहती है। प्रक्रिया क्षेत्र में वेफर-स्तर पर तापमान स्थिर रहता है, जो कि “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाओं में आवश्यक है। ये लैंप क्लास 1–100 के क्लीनरूमों में उपयोग के लिए उपयुक्त हैं; इनकी सामग्री एवं डिज़ाइन ऐसा है कि कणों की संख्या कम रहे। 5,000 घंटों तक इन लैंपों से निरंतर ऊर्जा प्राप्त होती है, एवं ल्यूमेन में 5% से भी कम कमी होती है; इसलिए आपको हर हफ्ते पुनः समायोजन करने की आवश्यकता नहीं है।
लिथोग्राफी एवं RTP में इसका क्या महत्व है?
यहाँ तापमान-नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। अधिक सटीक तापमान-नियंत्रण से वेफर के किनारों पर होने वाली खामियाँ कम हो जाती हैं, CD का नियंत्रण बेहतर हो जाता है, एवं पहली बार में ही उत्पादन दर बढ़ जाती है। तेज़ गति से तापमान बढ़ने से प्रक्रिया-समय कम हो जाता है, लेकिन अधिकतम ऊर्जा की आवश्यकता नहीं पड़ती। प्रक्रिया को स्वच्छ एवं कण-रहित रखने से अपशिष्ट उत्पादों की संख्या कम हो जाती है, एवं पुनः कार्य करने की आवश्यकता भी कम हो जाती है। स्थिर लैंप-आउटपुट के कारण प्रत्येक बार परिणाम समान रहते हैं। चूँकि यह सिस्टम तेज़ी से निर्धारित तापमान तक पहुँच जाता है, इसलिए ऊष्मा-संबंधी अस्थिरताओं के कारण ऊर्जा की बर्बादी भी कम हो जाती है।
कुछ टिप्स:
±0.1°C की सटीकता बनाए रखने हेतु, सही रिफ्लेक्टरों एवं सटीक फोकल अलाइनमेंट की आवश्यकता है। पुराने RTP उपकरणों में इन लैंपों को लगाना आसान है, लेकिन क्वार्ट्ज आवरण को सावधानी से ही लगाना आवश्यक है – छोटी-मोटी खरोंचें भी बाद में समस्याओं का कारण बन सकती हैं। उपयोग करने से पहले, अपनी विशिष्ट प्रक्रिया के लिए परीक्षण करें, ताकि तापमान-संबंधी सेटिंग्स सही रहें।