ओएलईडी लिथोग्राफी में, थर्मल ड्रिफ्ट के कारण कोई गुंजाइश ही नहीं है। यदि तापमान में ±0.5°C तक का अंतर आ जाए, तो सीडी यूनिफॉर्मिटी प्रभावित हो जाती है; साथ ही रेजिस्ट सतहों पर भी समस्याएँ आ जाती हैं। इसलिए ऐसी ड्रायिंग लैंप की आवश्यकता है, जो स्थिर रहे, न कि ऐसी लैंप जो दिन-रात में अपनी स्थिति बदलती रहे।
हमने क्या बनाया, और क्यों?
हमने ओएलईडी ड्रायिंग लैंप को शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड हेलोजन एमिटरों के साथ क्वार्ट्ज आवरण में रखा। इससे फोटोरेसिस्ट में तेज़ एवं सीधी ऊर्जा हस्तांतरण होता है, एवं सब्सट्रेट का तापमान न्यूनतम रहता है। हीटर ऐसे ही व्यवस्थित किए गए हैं कि वेफर पर तापमान ±0.1°C के भीतर ही रहे, एवं प्रत्येक चक्र में तापमान की स्थिरता 0.05°C ही रहे।
यह सिस्टम क्लास 1–100 क्लीनरूमों में उपयोग हेतु उपयुक्त है। हमने इन-सीटू मॉनिटरिंग के माध्यम से यह सुनिश्चित किया कि कोई कण ही निर्मित न हो। तापमान मापन हेतु कैलिब्रेटेड पाइरोमीटर एवं एमिसिविटी कॉम्पेन्सेशन का उपयोग किया गया है… न कि लैंप के आवरण से ही तापमान मापा गया।
ओएलईडी फैक्ट्रियों में इसका उपयोग क्यों उपयुक्त है?
ओएलईडी ड्रायिंग एवं फोटोरेसिस्ट बेकिंग प्रक्रियाओं में तापमान का नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है। यदि तापमान कम हो, तो विलायक पूरी तरह से निकल नहीं पाते… जबकि यदि तापमान अधिक हो, तो गैसें निकलकर दोष पैदा करती हैं। यह लैंप हर चक्र में रेजिस्ट के तापमान को सटीक रूप से नियंत्रित करता है… जिससे सीडी यूनिफॉर्मिटी एवं साइडवॉल एंगल स्थिर रहते हैं।
तेज़ तापमान वृद्धि से बेकिंग समय कम हो जाता है… जिससे उत्पादन दर बढ़ जाती है… एवं अधिकतम तापमान भी कम रहता है। यह सिस्टम डिज़ाइन के हिसाब से ही कुशल है… उच्च विद्युत-विकिरण रूपांतरण दर एवं कम थर्मल मास के कारण ऊर्जा खर्च कम होता है… एवं क्लीनरूम में अतिरिक्त ऊष्मा भी नहीं आती। यह सिस्टम 24/7 उपयोग हेतु भी उपयुक्त है… क्योंकि फील्ड डेटा से पता चलता है कि यह हजारों घंटों तक स्थिर रूप से काम कर सकता है।
आपको क्या तैयार करने की आवश्यकता है?
यह लैंप छोटा है… लेकिन इसके लिए एक विशेष एक्सहॉस्ट सिस्टम एवं स्थिर विद्युत आपूर्ति आवश्यक है… ताकि प्रदर्शन स्थिर रहे। यदि आप इसे पुरानी प्रणालियों में इंटीग्रेट कर रहे हैं, तो मैकेनिकल एवं कंट्रोल इंटरफेस एडाप्टरों की आवश्यकता होगी। कनेक्टर, माउंटिंग आवरण एवं पीएलसी इंटरलॉकिंग की जाँच जरूर करें।
अपने रेजिस्ट स्टैक के अनुसार बेकिंग प्रोफाइल को अंतिम रूप देने हेतु एक छोटा सा टेस्ट चलाएं… फिर उसे स्थिर रखें।